透明导电氧化物薄膜的研究现状及发展趋势

透明导电氧化物薄膜的研究现状及发展趋势

论文摘要

透明导电薄膜属于存在视觉层面上的透明度,也存在导电能力的薄膜材料,具体包含了金属导电薄膜、氧化物导电薄膜、其他化合物导电薄膜等。本文主要讲述当前研究和应用最为广泛的透明导电氧化物(TCO)薄膜,介绍了了透明导电氧化物薄膜的特性,制备方法,应用以及发展趋势。

论文目录

  • 0 引言
  • 1 透明导电氧化物薄膜特性
  •   1.1 SnO2基薄膜
  •   1.2 In2O3基薄膜
  •   1.3 ZnO基薄膜
  •   1.4 p型透明导电膜
  • 2 透明导电氧化物薄膜的制备方法
  •   2.1 磁控溅射法
  •   2.2 脉冲激光沉积 (PLD)
  •   2.3 溶胶-凝胶工艺
  •   2.4 喷射热分解法
  • 3 透明导电氧化物薄膜的应用
  • 4 透明导电氧化物薄膜的发展趋势
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 杨秀峰

    关键词: 透明导电氧化物,光电特性,制备工艺,发展趋势

    来源: 科技视界 2019年02期

    年度: 2019

    分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑

    专业: 材料科学,工业通用技术及设备

    单位: 武汉轻工大学机械工程学院

    分类号: TB383.2

    DOI: 10.19694/j.cnki.issn2095-2457.2019.02.044

    页码: 104-106+75

    总页数: 4

    文件大小: 211K

    下载量: 803

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