论文摘要
提出一种对化学气相沉积法生长石墨烯缺陷的快速检测方法。利用化学气相沉积法制备石墨烯并将其转移到目标基底上,制备出应用于表面等离激元（SPP）成像的石墨烯-金基底。SPP对界面处折射率变化具有高灵敏度,可以实现石墨烯边缘检测,并且石墨烯表面缺陷会引起SPP作用场的变化,利用SPP泄漏辐射效应将界面处SPP作用场变化传输至远场,使用CCD进行快速成像,可实现对转移后石墨烯的快速成像与检测。该方法检测到石墨烯边缘与表面的形貌信息,并且检测到颗粒污染物,避免了传统的检测方法灵敏度低、速度慢、有损检测等弊端,实现了对石墨烯缺陷的快速、无损检测。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 魏茹雪,王延伟,江丽雯,孙旭晴,刘虹遥,王畅,路鑫超,卢维尔,夏洋,黄成军
关键词: 表面光学,单晶石墨烯,表面等离激元成像,缺陷检测,快速无损检测
来源: 光学学报 2019年11期
年度: 2019
分类: 基础科学,工程科技Ⅰ辑
专业: 无机化工
单位: 中国科学院微电子研究所健康电子研发中心,中国科学院大学,中国科学院微电子研究所微电子仪器设备研发中心,北京交通大学,北京市微电子制备仪器设备工程技术研究中心,集成电路测试技术北京市重点实验室
基金: 国家重点研发计划(2016YFC0900200,2017YFF0107002),国家自然科学基金(61604175),北京市自然科学基金项目(4192063,4182073),广东省科技计划项目(2016A040403086),广州市科技计划项目(201604020005),清华大学环境模拟与污染控制国家重点联合实验室开放课题(18K07ESPCT)
分类号: TQ127.11
页码: 321-326
总页数: 6
文件大小: 3691K
下载量: 138
相关论文文献
- [1].半导体所等在多层石墨烯物理性质研究方面取得新进展[J]. 中国粉体工业 2012(02)
- [2].美利用电子成像技术分析石墨烯[J]. 中国粉体工业 2012(06)
- [3].全球首条石墨烯生产线明年8月投产 潜力巨大[J]. 中国粉体工业 2012(06)
- [4].天奈科技开发出碳纳米管与石墨烯复合锂电池助导剂[J]. 中国粉体工业 2016(03)
- [5].广西大学破解石墨烯制备难题 可大批量生产粉体材料[J]. 中国粉体工业 2016(03)
- [6].新的视觉体验 变色石墨烯泡沫创建“机械像素”[J]. 中国粉体工业 2016(06)
- [7].不完美石墨烯的“华丽蜕变”[J]. 中国粉体工业 2016(06)
- [8].石墨烯改变未来有望从这五大领域开始[J]. 中国粉体工业 2016(06)
- [9].德阳将打造“中国西部石墨烯产业先导基地”[J]. 中国粉体工业 2016(03)
- [10].科学家找到大规模生产纳米石墨烯薄片新方法[J]. 中国粉体工业 2012(02)
- [11].英国石墨烯相关产业研发呈下降趋势[J]. 中国粉体工业 2016(03)
- [12].青岛:以标准化为引领 促进石墨烯产业规范发展[J]. 中国粉体工业 2016(03)
- [13].业内专家:石墨烯大规模商业化应用还需10到15年[J]. 中国粉体工业 2016(03)
- [14].丰台园将打造国际石墨烯产业创新中心[J]. 中国粉体工业 2016(03)
- [15].川大成功制备石墨烯橡胶纳米复合材料[J]. 中国粉体工业 2015(04)
- [16].石墨烯能否成为“开启梦幻未来的钥匙”?[J]. 中国粉体工业 2016(05)
- [17].美研究人员开发新型微波法制备高质量石墨烯[J]. 中国粉体工业 2016(05)
- [18].浙大制得宏观石墨烯长纤维[J]. 中国粉体工业 2012(01)
- [19].构造石墨烯纳米结构的新进展[J]. 中国粉体工业 2009(05)
- [20].推开石墨烯的产业之门[J]. 中国建材资讯 2017(01)
- [21].石墨烯将承载未来变革产业领域希望[J]. 中国粉体工业 2015(04)
- [22].工信部:将组织实施“石墨烯+”行动 构建贯通上下游的产业链[J]. 中国粉体工业 2016(05)
- [23].资本热炒石墨烯 何难题困扰产业发展?[J]. 中国粉体工业 2016(05)
- [24].神奇的石墨烯[J]. 泰州科技 2011(09)
- [25].英国欲建造领军全球的石墨烯研究中心[J]. 中国粉体工业 2013(02)
- [26].石墨烯的研究进展[J]. 中国粉体工业 2013(04)
- [27].石墨烯产学研相结合 产业规模化即将形成[J]. 中国粉体工业 2013(04)
- [28].欧盟20亿欧元资助石墨烯工程[J]. 中国粉体工业 2013(02)
- [29].石墨烯坎坷的产业化之路[J]. 中国粉体工业 2013(02)
- [30].石墨烯产业化步伐悄然加快[J]. 中国粉体工业 2013(02)
标签：表面光学论文; 单晶石墨烯论文; 表面等离激元成像论文; 缺陷检测论文; 快速无损检测论文;