导读:本文包含了音叉电容论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译,主要关键词:电容,音叉,陀螺,微机,误差,因子,电路。
音叉电容论文文献综述
姜涛,王安麟,刘广军,张颖,焦继伟[1](2007)在《音叉振动式微机械陀螺输出电容的统计特性分析》一文中研究指出以一种通过体微机械加工技术制备的音叉振动式微机械陀螺为对象,基于随机摄动技术定量计算了微陀螺检测输出电容变异的统计特征,以概率思想表达微陀螺批量加工过程所带来的材料/尺寸随机误差对其性能的影响。所提出的影响因子这一概念反映了微陀螺参数变异对性能变异的敏感度。在详尽分析微陀螺众多参数的影响因子的基础上获得微陀螺5个最为关键的参数。有限关键参数的获得,不仅能为微陀螺的健壮性设计提供帮助,同时也能为实际微陀螺的加工控制提供量化的参考依据。(本文来源于《机械工程学报》期刊2007年08期)
刘广军,王安麟,姜涛,焦继伟,张正福[2](2006)在《基于子结构模型的音叉振动式微机械陀螺的检测电容解析方法》一文中研究指出为建立加工缺陷对微机械陀螺性能影响的机理性模型,解决高精度微机械结构优化设计的计算时间问题,以微机械加工技术制备的音叉振动式微机械陀螺为研究对象,利用多自由度动态有限元解析理论,提出基于子结构模型的检测电容解析法,实现微陀螺实际工作状态的模拟,并对模拟结果进行试验验证。从实例解析出发,发现微陀螺加工缺陷和工艺误差虽然对其结构固频特性影响不大,但是对其最终输出的电容检测特性具有较大影响这一重要现象。解析方法和结果在提高微机械陀螺解析精度和解析效率的基础上,对多物理场耦合工作环境下音叉振动式微机械陀螺健壮性能的解析和评价具有重要的参考价值。(本文来源于《机械工程学报》期刊2006年09期)
常洪龙,苑伟政[3](2004)在《音叉电容式微机械陀螺的误差源分析与消除》一文中研究指出误差源是以弱小信号处理为特征的微机械陀螺精度提高的主要制约因素。分析了音叉电容式微机械陀螺由本身工作模式和加工误差造成的两类误差源 ,并探讨了相应的消除方法。首先采用分离电极方法消除了驱动模态位移电流对敏感模态输出信号的耦合 ;用半频驱动方法抑制了驱动电压信号通过寄生电容对输出信号的耦合 ;通过在玻璃基体上开槽减轻了梳齿电容的静电悬浮以及玻璃基体上的电荷累积现象。然后通过对驱动电压幅值的自动调节弥补了由加工误差所造成的驱动电容不匹配 ,并采用同步解调消除正交误差。分析结果表明这些误差源的消除可提高微机械陀螺的精度水平(本文来源于《西北工业大学学报》期刊2004年06期)
蒋庆华[4](2004)在《音叉电容式微机械陀螺接口电路设计研究》一文中研究指出微机械陀螺和传统陀螺相比具有体积小、重量轻、成本低、可靠性高等优点,在众多领域具有广阔的应用前景。微机械陀螺采用集成电路工艺和微细加工技术制造,尺寸微小,驱动和检测困难,目前接口电路的研究是微机械陀螺研究的重点和难点。本文针对音叉电容式微机械陀螺的接口电路设计、稳幅谐振、微弱信号检测和处理等问题开展研究。 1.设计了音叉电容式微机械陀螺开环和闭环两种驱动电路。开环电路采用方波加直流偏置的等效交流电压驱动陀螺振动,通过模拟分析了方波驱动形式对陀螺振动的影响;结合开环驱动电路,提出了闭环驱动电路方案。闭环驱动电路基于锁相原理,采用专业锁相环芯片,进一步提高了陀螺驱动模态的谐振性。 2.对小电容检测电路进行了研究。介绍了MEMS领域最常见的缓冲器电容检测方案和电荷放大器电容检测方案。重点分析了电荷放大器电容检测方案的误差源,并且给出了误差避免的措施和运算放大器的选择原则。 3.设计了音叉电容式微机械陀螺检测电路。电容检测电路采用电荷放大器方案,并且对其进行了改进;对电容检测电路的输出信号进行了分析,设计了信号检测电路,有效的分离出了输入角速度。 经过对电路性能的分析、陀螺主要参数的估算,确定所设计的电一几}北邢业人学学位论义路可以达至fJ基本要求。(本文来源于《西北工业大学》期刊2004-03-01)
音叉电容论文开题报告
(1)论文研究背景及目的
此处内容要求:
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景,再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题,并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例:
为建立加工缺陷对微机械陀螺性能影响的机理性模型,解决高精度微机械结构优化设计的计算时间问题,以微机械加工技术制备的音叉振动式微机械陀螺为研究对象,利用多自由度动态有限元解析理论,提出基于子结构模型的检测电容解析法,实现微陀螺实际工作状态的模拟,并对模拟结果进行试验验证。从实例解析出发,发现微陀螺加工缺陷和工艺误差虽然对其结构固频特性影响不大,但是对其最终输出的电容检测特性具有较大影响这一重要现象。解析方法和结果在提高微机械陀螺解析精度和解析效率的基础上,对多物理场耦合工作环境下音叉振动式微机械陀螺健壮性能的解析和评价具有重要的参考价值。
(2)本文研究方法
调查法:该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法:用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法:通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法:通过调查文献来获得资料,从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法:依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法:对研究对象进行“质”的方面的研究,这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法:通过具体的数字,使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法:运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法:这是社会科学用来分析社会现象的一种方法,从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法:通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
音叉电容论文参考文献
[1].姜涛,王安麟,刘广军,张颖,焦继伟.音叉振动式微机械陀螺输出电容的统计特性分析[J].机械工程学报.2007
[2].刘广军,王安麟,姜涛,焦继伟,张正福.基于子结构模型的音叉振动式微机械陀螺的检测电容解析方法[J].机械工程学报.2006
[3].常洪龙,苑伟政.音叉电容式微机械陀螺的误差源分析与消除[J].西北工业大学学报.2004
[4].蒋庆华.音叉电容式微机械陀螺接口电路设计研究[D].西北工业大学.2004