轴线偏移对微纳力测量结果的影响研究

论文摘要

针对在微纳力测量过程中所广泛采用的圆筒状电容结构,采用有限元方法,研究了不同条件下圆筒状电容装置轴线偏移对输出微纳力测量结果的影响。重点分析了当圆筒状电容内外电极相交长度不同时,内电容轴线偏移,输出微纳力的变化情况,并根据研究结果,得到了在利用圆筒状电容装置测量微纳力时,轴线偏移误差对输出微纳力影响较小区间。

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类型: 期刊论文

作者: 邹韶明,刘磊

关键词: 轴线偏移,误差,微纳力,测量结果,圆筒状电容

来源: 安徽水利水电职业技术学院学报 2019年04期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑

专业: 工业通用技术及设备

单位: 安庆职业技术学院

基金: 2018年安徽省教育厅自然科学研究重点项目“微纳量级力学量测量过程中的关键技术研究”(KJ2018A0897),2019年安徽省高校自然科学研究重大项目资助“联网技术多重智能防盗系统的研究及其在安徽新能源汽车产业中的应用”(KJ2019ZD77)

分类号: TB93

页码: 27-30

总页数: 4

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标签：轴线偏移论文;  误差论文;  微纳力论文;  测量结果论文;  圆筒状电容论文;