导读:本文包含了液相外延论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:外延,液相,薄膜,厚度,均匀,干涉仪,过冷。
液相外延论文文献综述
杨海燕,侯晓敏,胡尚正,刘铭,曹鹏飞[1]（2019）在《液相外延碲镉汞薄膜表面的结晶类缺陷分析》一文中研究指出利用扫描电镜、能谱分析、光学轮廓仪以及金相显微镜等测试手段对液相外延碲镉汞薄膜表面缺陷的形貌、成分和断面进行了分析,并研究了不同种类表面缺陷的特征及来源。结果表明,液相外延碲镉汞薄膜表面上存在的结晶类缺陷往往尺寸较大或成片分布,对后续器件产生明显影响。通过分析其成因可以发现,母液均匀性的提升是减少该类缺陷和提高碲镉汞薄膜质量的关键。(本文来源于《红外》期刊2019年07期）
谷志刚[2]（2019）在《液相外延生长法层层组装金属-有机框架薄膜》一文中研究指出作为新一代的多孔材料,金属-有机框架(MOFs)由于具有晶体结构多样性、比表面积高、热稳定性较好以及功能可调等优点而受到人们的广泛关注。如何制备高质量的MOFs薄膜并将其功能化应用是当前的研究热点。本综述将介绍一类通过液相外延生长法在功能化基底表面上层层组装MOFs薄膜(SURMOFs),并重点总结了SURMOFs的制备途径,包括层层浸渍法、层层泵式法、层层喷雾法、层层旋涂法以及层层流动法,从而为制备高质量SURMOFs提供了保障,将更有利于MOFs材料在传感器和器件等领域的应用。(本文来源于《功能高分子学报》期刊2019年05期）
陆骏,李东升,木胜,万志远,朱辉[3]（2019）在《碲镉汞液相外延石墨舟的温度场均匀性改善》一文中研究指出对碲镉汞液相外延(Liquid phase epitaxy, LPE)石墨舟进行了数值模拟,计算了石墨舟温度场分布。通过在母液周围加入石英框,分析其对温度场的影响,得到了石英框壁厚与温度分布的关系。模拟发现,在母液周围加入石英框结构,可以提高外延生长界面温度场均匀性。最后,将分析结果与实验相结合,进行实验验证,成功降低了边界效应对碲镉汞薄膜的影响,外延生长出厚度极差??为1.4?m、组分极差?x不超过0.002的长波碲镉汞薄膜。(本文来源于《红外技术》期刊2019年04期）
陆骏,李东升,吴军,万志远,宋林伟[4]（2019）在《过冷度对液相外延HgCdTe薄膜厚度均匀性的影响》一文中研究指出探索了一种准确测量过冷度的实验方法,并在此基础上,利用光学显微镜、傅里叶红外透射光谱仪、台阶仪、白光干涉仪等测试手段分析了过冷度对Hg Cd Te薄膜厚度均匀性的影响.研究结果表明,过冷度小于2℃,薄膜容易出现中心凹陷、四周凸起的现象;过冷度大于3℃,薄膜中心将会明显凸起,出现宽度为毫米级的周期性起伏,并伴随有crosshatch线产生.当过冷度为2. 5℃时,薄膜厚度极差可缩小至0. 5μm,0. 5 mm×0. 5 mm范围内薄膜相对于衬底的粗糙度增加量为9. 07 nm.(本文来源于《红外与毫米波学报》期刊2019年02期）
毛旭峰,宋林伟,吴军,张阳[5]（2019）在《碲镉汞(MCT)富汞液相外延技术综述》一文中研究指出富汞LPE是唯一能以生长方式实现As掺杂并直接激活成受主的外延技术,可在富Te水平外延生长的外延薄膜之上生长出高组分厚度为1um-3um的p型覆盖层(Cap层)形成p-on-n型组分梯度异质结构碲镉汞材料,实现碲镉汞p-on-n型组分梯度异质结构的优化设计生长。从而优化碲镉汞探测器的性能,提高碲镉汞焦平面探测器的工作温度,降低组件的体积、重量和功耗,提高可靠性,为高性能红外热像仪的应用创造更多的领域。(本文来源于《科技风》期刊2019年07期）
林虹宇,谢浩,王洋,陆宏波,孙艳[6]（2019）在《基于液相外延的InAs基红外探测器InAsSbP阻挡层的仿真》一文中研究指出在传统pn结红外探测器中,宽带隙阻挡层的引入可以有效降低器件暗电流。采用COMSOL软件对探测器的能带图进行仿真,结果表明,InAsSbP四元合金通过n型或p型掺杂,其能带结构能够实现价带能级的下凹或导带能级的上凸,起到阻挡空穴或电子的作用。通过理论分析和仿真计算,确定了满足阻挡层要求的InAsSbP组分。对于nBip型和pBin型红外探测器,仿真得到了阻挡层的最优厚度和最优掺杂浓度(粒子数浓度),并分析了其偏离最优值时对器件暗电流的影响。对于nBip型探测器,当阻挡层厚度为40nm、掺杂浓度为2×10~(18) cm~(-3)时,器件开关比最大;对于pBin型探测器,当阻挡层厚度为60nm、掺杂浓度为4×10~(17) cm~(-3)时,器件的开关比最大。(本文来源于《光学学报》期刊2019年05期）
毛旭峰,黄元竞,吴军,万志远,王志斌[7]（2019）在《HgCdTe液相外延薄膜与衬底之间组分过渡层研究》一文中研究指出通过改变薄膜的生长降温速率和生长时间,生长了一系列薄膜,并用SEM-EDS研究了其组分纵向分布。发现生长的HgCdTe液相外延薄膜与CdZnTe衬底之间的组分过渡层一般都在3μm以下与国外HgCdTe薄膜过渡层的水平一致,且组分过渡层厚度随着生长降温速率的增大或生长时间的减少而变薄。引言:近年来随着红外焦平面器件制备技术的发展,对HgCdTe液相外延材料提出了更高的性能要求(Rogalski A.History of infrared(本文来源于《电子世界》期刊2019年02期）
李春领,秦艳红,程雨,王春红[8]（2019）在《液相外延碲镉汞薄膜的表面损伤研究》一文中研究指出HgCdTe薄膜表面损伤层厚度测试对其加工工艺及其重要。本文采用白光干涉仪对HgCdTe薄膜表面粗糙度测试,并与损伤层厚度对比,研究发现粗糙度值达到稳定值后,上一步工艺引入的表面损伤已经完全去除,表面的损伤为抛光工艺引入的损伤。这一方法,既能方便快捷地确定损伤层是否完全去除,又未对测试样品产生破坏。(本文来源于《激光与红外》期刊2019年01期）
张阳,吴军,木胜,左大凡,李东升[9]（2018）在《CdZnTe中富碲沉积相缺陷引起的液相外延HgCdTe薄膜表面缺陷》一文中研究指出为了研究液相外延碲镉汞薄膜表面缺陷形成机制,采用光刻工艺结合化学腐蚀方法在碲锌镉衬底表面实现了网格化,研究了碲锌镉近表面富碲沉积相与外延薄膜表面缺陷的关系.结果表明:衬底近表面富碲沉积相会导致碲镉汞薄膜表面孔洞、类针形凹陷坑缺陷以及叁角形凹陷坑聚集区;在液相外延过程中,高温碲镉汞熔液与CdZnTe衬底间的回熔作用可以减少与富碲沉积相相关的表面缺陷,薄膜表面缺陷与衬底表面富碲沉积相的匹配度与回熔深度负相关;回熔过程以及富碲沉积相形态、深度影响HgCdTe薄膜表面缺陷形态和分布.(本文来源于《红外与毫米波学报》期刊2018年06期）
王静宇,宋林伟,孔金丞,吴军,洪雁[10]（2018）在《液相外延长波碲镉汞薄膜化学机械抛光工艺研究》一文中研究指出基于碲镉汞液相外延材料表面固有的宏观缺陷,采用化学机械抛光(CMP)方法对材料表面进行抛光平坦化,利用光学显微镜、白光干涉仪、激光共聚焦显微镜等分析方法对化学机械抛光前、后的材料表面进行分析表征。研究结果表明,化学机械抛光工艺能有效去除外延材料表面固有的竖纹、花纹、斜纹等宏观缺陷,同时可明显改善外延材料表面平整度及粗糙度,0.5 mm×0.5 mm范围内薄膜表面平整度值降低到20 nm以下,粗糙度值降低到4 nm以下,提高了碲镉汞外延材料表面质量。化学机械抛光后的长波材料经标准器件工艺制备出的焦平面器件可达到较好长波器件水平。(本文来源于《红外技术》期刊2018年10期）
液相外延论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
作为新一代的多孔材料,金属-有机框架(MOFs)由于具有晶体结构多样性、比表面积高、热稳定性较好以及功能可调等优点而受到人们的广泛关注。如何制备高质量的MOFs薄膜并将其功能化应用是当前的研究热点。本综述将介绍一类通过液相外延生长法在功能化基底表面上层层组装MOFs薄膜(SURMOFs),并重点总结了SURMOFs的制备途径,包括层层浸渍法、层层泵式法、层层喷雾法、层层旋涂法以及层层流动法,从而为制备高质量SURMOFs提供了保障,将更有利于MOFs材料在传感器和器件等领域的应用。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
液相外延论文参考文献
[1].杨海燕,侯晓敏,胡尚正,刘铭,曹鹏飞.液相外延碲镉汞薄膜表面的结晶类缺陷分析[J].红外.2019
[2].谷志刚.液相外延生长法层层组装金属-有机框架薄膜[J].功能高分子学报.2019
[3].陆骏,李东升,木胜,万志远,朱辉.碲镉汞液相外延石墨舟的温度场均匀性改善[J].红外技术.2019
[4].陆骏,李东升,吴军,万志远,宋林伟.过冷度对液相外延HgCdTe薄膜厚度均匀性的影响[J].红外与毫米波学报.2019
[5].毛旭峰,宋林伟,吴军,张阳.碲镉汞(MCT)富汞液相外延技术综述[J].科技风.2019
[6].林虹宇,谢浩,王洋,陆宏波,孙艳.基于液相外延的InAs基红外探测器InAsSbP阻挡层的仿真[J].光学学报.2019
[7].毛旭峰,黄元竞,吴军,万志远,王志斌.HgCdTe液相外延薄膜与衬底之间组分过渡层研究[J].电子世界.2019
[8].李春领,秦艳红,程雨,王春红.液相外延碲镉汞薄膜的表面损伤研究[J].激光与红外.2019
[9].张阳,吴军,木胜,左大凡,李东升.CdZnTe中富碲沉积相缺陷引起的液相外延HgCdTe薄膜表面缺陷[J].红外与毫米波学报.2018
[10].王静宇,宋林伟,孔金丞,吴军,洪雁.液相外延长波碲镉汞薄膜化学机械抛光工艺研究[J].红外技术.2018
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