金属表面磁控溅射TiN涂层制备的实验方法

金属表面磁控溅射TiN涂层制备的实验方法

论文摘要

锆合金由于中子吸收截面小等优点被广泛应用于核电行业。为了进一步提高其耐腐蚀性能和耐高温氧化性能,可采用表面涂层工艺。本文采用磁控溅射工艺在锆合金表面制备TiN涂层,并测试涂层的表面形貌和结合强度,应用于金属表面涂层制备的认知性和延伸性实验教学,使学生在实践中掌握材料表面处理学术前沿知识,培养创新思维,提高分析、解决问题的能力。

论文目录

  • 1 引言
  • 2 实验材料和实验设备
  • 3 实验方法和步骤
  • 4 实验案例与分析
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 肖魏魏,唐德文

    关键词: 磁控溅射,金属材料,涂层,实验教学

    来源: 信息记录材料 2019年07期

    年度: 2019

    分类: 信息科技,工程科技Ⅰ辑,社会科学Ⅱ辑

    专业: 金属学及金属工艺,高等教育

    单位: 南华大学机械工程学院

    分类号: TG174.4-4;G642

    DOI: 10.16009/j.cnki.cn13-1295/tq.2019.07.009

    页码: 18-19

    总页数: 2

    文件大小: 1754K

    下载量: 180

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