论文摘要
采用阴极多弧离子镀膜技术,制备了3种不同沉积工艺的CrAlN涂层。利用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、工具显微镜、球痕仪、洛式硬度计、HV显微硬度计、电化学工作站等研究了涂层的显微形貌、力学性能和耐腐蚀性。结果表明:采用氩离子刻蚀工艺沉积Cr N打底层的CrAlN涂层表面质量改善明显,厚度均匀波动小,硬度高,膜基结合力强,摩擦系数小,排屑能力强,以及具有较高的耐腐蚀性。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 王新太,王进,金烨堂,顾宁,孙树峰
关键词: 涂层,阴极多弧离子镀,沉积工艺,涂层性能
来源: 材料热处理学报 2019年10期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅰ辑
专业: 金属学及金属工艺
单位: 青岛理工大学机械与汽车工程学院
基金: 山东省重点研发计划项目(2019GGX102023),国家自然科学基金(51205217,51775289)
分类号: TG174.4
DOI: 10.13289/j.issn.1009-6264.2019-0175
页码: 110-116
总页数: 7
文件大小: 524K
下载量: 90
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