激光增强CVD法制备柱状晶结构锆酸镧涂层及其性能研究

论文摘要

使用La（dpm）3和Zr（dpm）4为前驱体,氧气为反应气体,通过激光增强化学气相沉积法制备了烧绿石结构的锆酸镧（LZ）涂层。研究了激光功率、以及前驱体比例对锆酸镧涂层的形貌、晶形、生长取向、沉积速率以及热导率的影响。在优化激光功率的基础上,通过改变前驱体比例La（dpm）3/Zr（dpm）4,确定了LZ的二元形成区,获得了La/Zr=0. 75～1. 5比例范围内成分可控的LZ单相样品。随着前驱体La（dpm）3/Zr（dpm）4比例的增加,La逐渐取代锆酸镧结构中的Zr,引起晶面间距的减少,导致XRD峰位向小角度方向偏移。研究表明,该方法制得的LZ涂层的热导率可低至0. 936 W/（m·K）,适用于热障涂层及其他高温隔热场合。

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类型: 期刊论文

作者: 韦志俊,袁点,乔自平

关键词: 激光增强化学气相沉积,锆酸镧,热障涂层

来源: 硅酸盐通报 2019年05期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅰ辑

专业: 金属学及金属工艺

单位: 中国兵器工业第二〇八研究所

分类号: TG174.4

DOI: 10.16552/j.cnki.issn1001-1625.2019.05.056

页码: 1639-1644

总页数: 6

文件大小: 392K

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标签：激光增强化学气相沉积论文;  锆酸镧论文;  热障涂层论文;