论文摘要
为提高CMP的抛光效果,配制了一种混合磨粒CMP抛光液,用于对不锈钢的抛光。实验结果表明:硅溶胶和铝溶胶配比为4∶1,使用十二烷基硫酸钠为阴离子表面活性剂,调节pH值为2.5配制的抛光液的分散稳定性较好;采用上述抛光液对304号不锈钢进行抛光,其粗糙度和光泽度得到明显提高。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 贺祥,刘军,高爽,耿伟纬,蔡金凤,付慧坛
关键词: 化学机械抛光,抛光液,混合磨粒,表面粗糙度,光泽度
来源: 河南化工 2019年05期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅰ辑
专业: 金属学及金属工艺
单位: 河南工业大学材料科学与工程学院
基金: 河南工业大学科学研究基金项目(2017XTCX07)
分类号: TG580.692
DOI: 10.14173/j.cnki.hnhg.2019.05.005
页码: 19-21
总页数: 3
文件大小: 88K
下载量: 196
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