一种可溯源原子力探针显微镜

论文摘要

研制了一种基于白光干涉的可溯源原子力探针扫描显微镜,提出了一种稳健的白光干涉零级条纹定位算法,建立了一套高分辨激光干涉位移测量系统。在此基础上提出了一种探针标定方法,实现微纳表面可溯源测量。通过对台阶高度为(21. 4±1. 5) nm的标准光栅进行10次重复测量,其结果的平均值为21. 56 nm,标准差为0. 51 nm;同时对高度为150 nm的三维特征样件进行了三维测量,验证了所研制仪器测量的准确性和稳定性。

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文章来源

类型: 期刊论文

作者: 杨文军,胡迟,刘晓军

关键词: 计量学,原子力显微镜,探针标定,可溯源,白光干涉

来源: 计量学报 2019年02期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑

专业: 仪器仪表工业

单位: 华中科技大学机械科学与工程学院

基金: 国家自然科学基金(51475192)

分类号: TH742

页码: 183-188

总页数: 6

文件大小: 1012K

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标签：计量学论文;  原子力显微镜论文;  探针标定论文;  可溯源论文;  白光干涉论文;