论文摘要
由于双光子聚合所具有的纳米级加工分辨率以及真三维制造能力,被广泛应用于微米纳米制造领域。利用双光子聚合加工的三维木堆结构是实现生物支架、光子晶体、超材料等功能器件的重要途径之一。但是加工结构在经过后处理之后产生的不均匀收缩成为获得高质量木堆结构的重要阻碍,严重时会导致失去其结构的功能性。为了实现木堆结构的均匀性加工,提出一种通过降低加工结构与基底附着力的方法,来实现均匀木堆结构的加工。此外,采用Ormocomp光敏材料以及双光子聚合加工技术,对基底高附着力和低附着力的木堆结构分别进行了加工。通过对加工所得木堆结构的各层尺寸的测量,验证了所提出方法的有效性。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 林洁琼,陈禹平,靖贤
关键词: 微机电系统,双光子聚合,木堆结构,微米纳米加工,飞秒激光,结构收缩
来源: 机械设计与制造 2019年11期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑
专业: 材料科学,机械工业
单位: 长春工业大学机电工程学院
基金: 国家自然科学基金项目(51375060)
分类号: TH161.1;TB306
DOI: 10.19356/j.cnki.1001-3997.2019.11.022
页码: 83-85
总页数: 3
文件大小: 555K
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