论文摘要
室温下使用磁控溅射粉末靶在玻璃基板上制备AZO（Al:ZnO）二维薄膜;将此薄膜作为基底,利用水热法生长不同掺Al量的一维AZO纳米棒阵列,构建三维结构薄膜。通过扫描电镜、X射线衍射仪、紫外-可见分光光度计和霍尔效应仪对薄膜的微观结构和光电性能进行了表征。结果表明:Al掺杂使二维ZnO薄膜载流子浓度升高、迁移率降低,整体上电阻率下降。一维AZO纳米棒的不同掺铝量可以改变其晶体结构、直径和密集程度,进而可有效调控三维AZO薄膜的光电性能。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 尹航,王艳雪,田睿,吴祥明,张影,叶童,李颜岩
关键词: 磁控溅射,水热法,三维薄膜
来源: 辽宁科技大学学报 2019年05期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑
专业: 化学,材料科学,工业通用技术及设备
单位: 辽宁科技大学材料与冶金学院,中车大连机车研究所有限公司,辽宁省疾病预防控制中心
基金: 国家自然科学基金(51502126),辽宁省自然科学基金(20180550802)
分类号: TB383.2;O614.241
DOI: 10.13988/j.ustl.2019.05.008
页码: 361-364+396
总页数: 5
文件大小: 1207K
下载量: 53
相关论文文献
- [1].圆形薄膜预应力测量[J]. 工程塑料应用 2020(03)
- [2].低光泽度热隐身光子晶体薄膜[J]. 真空科学与技术学报 2019(11)
- [3].铁酸铋薄膜的电学特性及掺杂影响分析[J]. 化工新型材料 2017(03)
- [4].有限尺寸硬薄膜/软基底的屈曲分析[J]. 力学季刊 2017(02)
- [5].国际薄膜大会Thin Films 2016 新加坡2016.07.12-15[J]. 真空 2015(06)
- [6].国际薄膜大会Thin Films 2016 新加坡2016.07.12-15[J]. 真空 2016(01)
- [7].国际薄膜大会Thin Films 2016 新加坡2016.07.12-15[J]. 真空 2016(02)
- [8].国际薄膜大会Thin Films 2016[J]. 真空 2016(03)
- [9].可怜的小鸭子[J]. 意林(少年版) 2013(11)
- [10].大棚薄膜破损咋修补[J]. 农业知识 2009(29)
- [11].基于电化学聚合方法制备荧光薄膜及其在爆炸物检测中的研究[J]. 化学与粘合 2020(01)
- [12].欧洲开发抗菌薄膜[J]. 绿色包装 2020(07)
- [13].谈一谈薄膜数字印刷的优势和成本考量[J]. 印刷技术 2019(03)
- [14].薄膜传输系统导向辊牵引特性研究[J]. 西安理工大学学报 2016(04)
- [15].铁酸铋薄膜退火工艺研究进展[J]. 表面技术 2017(02)
- [16].电沉积制备镍-铁薄膜及其性能的研究[J]. 电镀与环保 2017(04)
- [17].原子层沉积二硫化钼薄膜的机理及生长薄膜的质量[J]. 东南大学学报(自然科学版) 2017(05)
- [18].2014年全球特种薄膜销售额将达到297.7亿美元[J]. 印刷技术 2010(02)
- [19].中国进口薄膜级HDPE供应将趋紧[J]. 塑料工业 2010(07)
- [20].一种Sb_2S_3热电薄膜的制备方法[J]. 电镀与精饰 2009(07)
- [21].管状弹簧介电薄膜作动器粘弹性变形研究[J]. 甘肃科学学报 2019(06)
- [22].薄膜基荧光传感检测的研究进展[J]. 中国科学:化学 2020(01)
- [23].烧结氛围对铜锌锡硫硒薄膜性质的影响[J]. 内蒙古师范大学学报(自然科学汉文版) 2020(03)
- [24].少层二硫化钼薄膜的制备及其光谱特性[J]. 半导体技术 2020(09)
- [25].薄膜生产中防止薄膜粘连应用研究[J]. 中国设备工程 2020(18)
- [26].“长寿薄膜”问世 寿命高达25年[J]. 橡塑技术与装备 2017(04)
- [27].基于动力学标度法的a-C:H薄膜表面微观形貌的演变机理研究[J]. 原子能科学技术 2017(04)
- [28].欧盟创新型中小企业研制成功过滤薄膜自清洁技术[J]. 化工管理 2014(34)
- [29].欧盟创新型中小企业研制成功过滤薄膜自清洁技术[J]. 分析测试学报 2014(12)
- [30].欧盟创新型中小企业研制成功过滤薄膜自清洁技术[J]. 企业技术开发 2014(34)