导读:本文包含了微机电论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:微机,系统,误差,陀螺,传感器,标度,陀螺仪。
微机电论文文献综述
陈倩倩,钱峥,张杰,金磊[1]（2019）在《微机电(MEMS)陀螺仪校准值的不确定度分析》一文中研究指出MEMS陀螺仪的量值溯源一直是惯性导航检测校准的主要难题。标度因数和零偏是衡量MEMS陀螺仪性能的主要校准值之一。本文根据标度因数的最小二乘法表达公式,采用微分算子方法计算出标度因数的协因数,并由此分析了标度因数和零偏的测量不确定度。(本文来源于《计量与测试技术》期刊2019年11期）
丛琳,王小龙,燕斌[2]（2019）在《煤矿井下微机电系统陀螺随机误差辨识》一文中研究指出针对常用随机误差辨识方法不能揭示潜在的误差源、很难分离出具体随机误差、数据采集时间过长等问题,利用Allan方差分析法对煤矿井下微机电系统(MEMS)陀螺随机误差进行辨识。介绍了Allan方差分析法原理,利用Allan方差分析法对MEMS陀螺实测数据进行处理,给出了Allan标准差曲线,通过最小二乘拟合得到MEMS陀螺的主要随机误差系数。实验结果验证了Allan方差分析法用于MEMS陀螺随机误差辨识的有效性。(本文来源于《工矿自动化》期刊2019年10期）
张旭,李春雨[3]（2019）在《微机电系统(MEMS)的简介及应用》一文中研究指出微机电系统(MEMS)是20世纪末21世纪初兴起的工程科学前沿,它涉及多学科的交叉,如物理学、现代光学、现代力学、化学、生物学等。微机电系统正在稳定快速地发展,将逐渐迈入纳米尺寸等级的层次。(本文来源于《科技经济导刊》期刊2019年22期）
天工[4]（2019）在《2018年国际石油十大科技进展(六)——先进的井下测控微机电系统传感器技术快速发展》一文中研究指出随着井眼测量技术的发展和升级,传统传感器体积大、易损坏且成本高等缺点日益突出。为此,业界积极寻求一种可替代传统测控传感器的技术。近年来,随着半导体制造技术的发展,小型化、价格低廉且坚固耐用的微机电系统(MEMS)传感器在井下工具中获得了越来越多的应用。MEMS传感器所用的耐疲劳配件能承受数十亿次甚至数万亿次的冲击而不会出现失效;MEMS传感器微小的尺寸意味着活动部件少,使其在受到冲击和振动时具备高的可靠性;MEMS传感器的成本是传统传感器的百分之一甚至千分之一。MEMS传感器技术能确保制造(本文来源于《天然气工业》期刊2019年07期）
Janey[5]（2019）在《微机电测试设备领导品牌AFORE结盟蔚华科技进军大中华市场》一文中研究指出《电子工业专用设备》讯:因看好未来中国市场对于5G及车用电子市场的投资与发展,专注于微机电(MEMS)产品测试设备的芬兰品牌AFORE Oy宣布与半导体测试解决方案专业品牌蔚华科技结盟,双方将以更全面完整的测试解决方案进军大中华市场。AFORE业务总监Ari Kuukkala表示:"中国市场微机电相关的应用已升级到新的高度,蔚华科技已深耕国内半导体市场多年,透过蔚华科技,(本文来源于《电子工业专用设备》期刊2019年03期）
范巧艳[6]（2019）在《基于微机电系统陀螺传感器的FIR滤波器设计》一文中研究指出针对微机电系统(MEMS)陀螺传感器噪声较大的特点,分析了MEMS陀螺数据功率谱,指出该型MEMS陀螺有较强高频噪声和干扰信号,提出了FIR滤波器的设计指标,利用Hamming窗函数法设计了FIR滤波器,最后利用所设计的滤波器对该MEMS陀螺数据进行预滤波处理,并有效应用于2个不同的MEMS陀螺。结果表明,滤波预处理后的数据按照期望对高频数据进行了衰减,设计的FIR滤波器可有效滤除MEMS陀螺的高频噪声,提高角速率测量精度,改善陀螺零偏稳定性,具有一定的工程应用价值。(本文来源于《电子测量技术》期刊2019年11期）
张佳宇[7]（2019）在《旋转式半捷联微机电惯性导航系统误差研究》一文中研究指出常规弹药制导化的实现依赖于弹体飞行参数实时、准确地测量。受高旋、高速及狭窄空间等因素限制,使得弹体飞行姿态、速度与位置等导航参数的测量十分困难。半捷联微惯性导航测量方法的提出解决了跨量程测量的难题,但是由于MEMS器件精度普遍不高,限制了半捷联微惯性导航系统的测量精度。为进一步提高系统精度,在现有半捷联系统的基础上采用旋转调制技术进行器件误差的抑制,并对旋转式半捷联微机电惯性导航系统(以下简称为旋转式半捷联系统)中存在的主要误差展开研究。首先,为便于下文分析,对常用坐标系及坐标系之间的转换关系进行了简单说明;阐述了旋转式半捷联系统的组成结构与工作原理,并选择了合理的解算结构。其次,对系统误差进行分类与解析,确定影响系统精度的主要误差有器件误差、调制角速率误差、系统安装误差,并分别对各个误差的传播机理进行详细推导与分析,得出各个误差的传播特性,为验证理论分析的正确性,设计了相应的仿真试验。然后,依据旋转方案评价准则及实际应用需求与背景,选择了合理的旋转方案,并结合载体运动分析器件误差抑制效果;同时结合调制角速率误差与系统安装误差的传播机理,分别提出抑制方法。最后,为验证前文的分析,设计了相应的导航试验。利用高精度飞行仿真转台提供高旋环境,分别进行了调制前后导航对比试验,并对调制后的测量结果分别进行调制角速率的补偿与系统安装误差的补偿,验证补偿方法的有效性,使得系统精度进一步提高。(本文来源于《中北大学》期刊2019-05-30）
何璇[8]（2019）在《微机电系统技术及其应用》一文中研究指出微机电系统是在微电子技术与微机械技术的基础上产生的多学科交叉的前沿科学研究领域,是面向21世纪的高新科技产物。介绍了微机电系统的基本原理及基本组成,综述了微机电系统技术基础所涉及的生物医学、航天卫星领域以及信息通信等领域,并对国内微机电系统的发展现状及前景进行全面分析。在此基础上论述了MEMS技术目前存在的问题和未来发展的趋势。(本文来源于《科技经济导刊》期刊2019年15期）
MikeWalker,HakkiRefai[9]（2019）在《二维微机电(MEMS)阵列为移动光谱分析仪打下基础》一文中研究指出在近红外(NIR)光谱分析领域,一个将便携性与高性能实验室系统的准确性和功能性组合在一起的系统将极大地改进实时分析性能。一块由电池供电的小型手持式光谱分析仪的开发可以实现对工业过程或食品成熟度的评估进行更有效的监控。多数色散光谱分析测量一开始采用的都是同样的方式。被分析的光通过一个小狭缝,狭缝与一个光栅组合在一起共同控制这个仪器的分辨率。(本文来源于《智能制造》期刊2019年05期）
裴丽娜[10]（2019）在《基于可调谐垂直腔面发射激光器的微机电系统调谐特性研究》一文中研究指出垂直腔面发射激光器(VCSEL)是由日本东京工业大学的Iga、Soda等教授于1977年初次提出。其出光方向与衬底垂直,具有可在片测试、阈值电流低、易于集成、发散角小、调制速率高等优点。VCSEL当前主要的研究方向有:波长集成、波长扩展、波长调谐、大规模二维阵列、控制模式等。波长连续可调谐VCSEL因其调谐范围较大,光谱纯度较高在光通信网络、计算机光互连、气体探测、原子钟等领域中有广泛的应用前景。本论文围绕可调谐VCSEL微机电系统(MEMS)调谐特性开展研究,探索提高器件可靠性、结构的优化设计的设计思路,并在此基础上进行了器件工艺制备和器件特性分析。以下为本论文主要研究内容:1.针对等截面MEMS悬臂梁结构端部受力集中易导致结构疲劳断裂的问题,设计了一种低应力蝴蝶结状MEMS悬臂梁结构。该结构在固定端采用等腰梯形设计,可有效改善悬臂梁结构固定端受力分布,降低端部米塞斯应力。GaAs基材料固定端的最大米塞斯应力相比于等截面状结构降低了37%~64%;InP基材料固定端的最大米塞斯应力相比于等截面状结构降低了33%~50%。实现了可调波长范围覆盖自由光谱范围的具有更低应力、更高可靠性的MEMS悬臂梁结构。2.采用多物理场耦合分析软件,突破原有的静电致动方式的束缚,研究了热电致动和压电致动两种方式实现悬臂梁偏转的方法,探索提高器件调谐特性的可行性。热电致动方式可以同时实现连续波长调谐和小的波长热漂移;压电致动方式可以消除由静电致动拉入效应引起的灾难性损坏,提供了潜在的可调谐方案。3.低应力MEMS制备和器件特性分析。MEMS制备悬臂梁采用了蝴蝶结状,使用设计的掩膜板进行了双面对准套刻工艺。对GaAS背孔深刻蚀工艺研究了不同刻蚀条件对刻蚀速率、刻蚀形貌、刻蚀选择比的影响。通过优化气压、功率、Cl_2/BCl_3/Ar混合气体组成配比得出了最佳刻蚀条件,得到理想的刻蚀深度和侧壁形貌,最大刻蚀速率达到6.5μm/min。ICP干法刻蚀过程中采取二氧化硅和光刻胶双层掩膜,保护了表面完整性。制备器件后,调谐偏压从0V-3V,器件的波长从865.5nm蓝移到854.2nm,调谐范围为11.3nm。(本文来源于《长春理工大学》期刊2019-05-01）
微机电论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
针对常用随机误差辨识方法不能揭示潜在的误差源、很难分离出具体随机误差、数据采集时间过长等问题,利用Allan方差分析法对煤矿井下微机电系统(MEMS)陀螺随机误差进行辨识。介绍了Allan方差分析法原理,利用Allan方差分析法对MEMS陀螺实测数据进行处理,给出了Allan标准差曲线,通过最小二乘拟合得到MEMS陀螺的主要随机误差系数。实验结果验证了Allan方差分析法用于MEMS陀螺随机误差辨识的有效性。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
微机电论文参考文献
[1].陈倩倩,钱峥,张杰,金磊.微机电(MEMS)陀螺仪校准值的不确定度分析[J].计量与测试技术.2019
[2].丛琳,王小龙,燕斌.煤矿井下微机电系统陀螺随机误差辨识[J].工矿自动化.2019
[3].张旭,李春雨.微机电系统(MEMS)的简介及应用[J].科技经济导刊.2019
[4].天工.2018年国际石油十大科技进展(六)——先进的井下测控微机电系统传感器技术快速发展[J].天然气工业.2019
[5].Janey.微机电测试设备领导品牌AFORE结盟蔚华科技进军大中华市场[J].电子工业专用设备.2019
[6].范巧艳.基于微机电系统陀螺传感器的FIR滤波器设计[J].电子测量技术.2019
[7].张佳宇.旋转式半捷联微机电惯性导航系统误差研究[D].中北大学.2019
[8].何璇.微机电系统技术及其应用[J].科技经济导刊.2019
[9].MikeWalker,HakkiRefai.二维微机电(MEMS)阵列为移动光谱分析仪打下基础[J].智能制造.2019
[10].裴丽娜.基于可调谐垂直腔面发射激光器的微机电系统调谐特性研究[D].长春理工大学.2019
论文知识图
