双测头轮廓仪论文_陈林

导读:本文包含了双测头轮廓仪论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:轮廓仪,空间,偏心,光谱,误差,传感器,方位。

双测头轮廓仪论文文献综述

陈林^[1]（2015）在《摆臂式轮廓仪测头空间位置检测技术研究》一文中研究指出伴随着科学技术的快速发展,光学非球面由于其优异的光学性能,在大型光学系统、空间目标探测与识别和红外导引等技术领域有着较为广泛的应用。然而,目前光学非球面面形加工以及相应的在位检测依然存在一定的难度,为此提出了摆臂式轮廓仪的测量方法。摆臂式轮廓仪具有结构简单、成本低、测量范围大和测量精度高等优点,可以实现光学非球面的在位检测,避免加工中的镜面在搬运中带来的风险,同时提高了镜面面形的检测精度和加工效率。但是在实际的检测中,摆臂式轮廓仪测头空间位置中的测头偏心误差以及有效臂长均对其测量面形的精度产生一定的影响。本论文的主要工作是围绕摆臂式轮廓仪测头空间位置检测技术进行研究,提出了光谱共焦传感器测量测头偏心误差的方法以及点源显微镜标定测头系统空间坐标位置关系和激光跟踪仪测量横臂转台轴心线的联合测量有效臂长的方法。本论文的主要研究内容围绕以下几部分展开:1.调研了摆臂式轮廓仪的国内外研究发展状况,对摆臂式轮廓仪的测量原理进行了介绍,分析了测头空间位置对面形检测的影响,得出需要将摆臂式轮廓仪测头偏心误差控制在10μm,即测头偏心误差测量不确定度不超过3μm,同时有效臂长的测量不确定度不超过10μm。对目前一些偏心误差测量方法和有效臂长测量方法进行了2.介绍了摆臂式轮廓仪测头偏心误差的测量原理及光谱共焦传感器的测量原理,对测头偏心误差的误差因素及测量不确定度进行了相应理论分析,利用Monte-Carlo模拟方法得到理论扩展不确定度ULg=0.8μm。3.对有效臂长的测量方法进行了研究,提出了点源显微镜标定测头系统空间坐标位置关系以及激光跟踪仪测量横臂转台轴心线的方法,分别介绍了点源显微镜的工作原理、激光跟踪仪的工作原理以及两种测量方法的原理。利用Monte-Carlo模拟方法得到实验中有效臂长扩展不确定度UL=8.2μm。4.针对光谱共焦传感器测量摆臂式轮廓仪测头偏心误差,进行了对比实验,对比实验结果证明了光谱共焦传感器测量测头偏心误差的测量方法是可行的,测量数据是可5.针对点源显微镜标定测头系统空间坐标位置关系及激光跟踪仪测量横臂转台轴心线来测量摆臂式轮廓仪有效臂长,设计了对比实验,实验结果证明该测量方法的可行性与可靠性。(本文来源于《中国科学院研究生院（光电技术研究所）》期刊2015-03-01）

陈林,景洪伟,曹学东,高明星,杨杰^[2]（2014）在《基于点源显微镜标定摆臂式轮廓仪测头系统空间位置坐标关系的方法》一文中研究指出随着国内外大型望远镜技术的发展,对光学非球面镜和离轴非球面镜的需求越来越大。光学非球面镜和离轴非球面镜的检测比较困难,加工过程中的面形检测精度和效率直接决定了镜面加工的效率和成本。摆臂式轮廓仪具有结构简单、成本低、动态范围广、测量精度高和在位测量的能力,适合对光学非球面镜和离轴非球面镜的在位检测。经过仿真分析,发现摆臂式轮廓仪有效臂长的测量精度对光学非球面镜和离轴非球面镜的检测精度会产生一定的影响,由此提出了一种利用激光跟踪仪精确测量摆臂式轮廓仪有效臂长的方法。在利用该方法测量有效臂长时,需要对摆臂式轮廓仪测头系统空(本文来源于《第十五届全国光学测试学术交流会论文摘要集》期刊2014-10-26）

双测头轮廓仪论文开题报告

（1）论文研究背景及目的

此处内容要求：

首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。

写法范例：

随着国内外大型望远镜技术的发展,对光学非球面镜和离轴非球面镜的需求越来越大。光学非球面镜和离轴非球面镜的检测比较困难,加工过程中的面形检测精度和效率直接决定了镜面加工的效率和成本。摆臂式轮廓仪具有结构简单、成本低、动态范围广、测量精度高和在位测量的能力,适合对光学非球面镜和离轴非球面镜的在位检测。经过仿真分析,发现摆臂式轮廓仪有效臂长的测量精度对光学非球面镜和离轴非球面镜的检测精度会产生一定的影响,由此提出了一种利用激光跟踪仪精确测量摆臂式轮廓仪有效臂长的方法。在利用该方法测量有效臂长时,需要对摆臂式轮廓仪测头系统空

（2）本文研究方法

调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。

观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。

实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。

文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。

实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。

定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。

定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。

跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。

功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。

模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。