特大型超高真空排气台的研制

论文摘要

为满足中科院高能物理研究所环型正负电子对撞机项目650 MHz/800 kW连续波速调管的超高真空排气需要,北方华创真空研制了由无油干泵和磁悬浮分子泵作为预抽系统,溅射离子泵作为主抽系统的特大型超高真空排气台。设备以温度和真空度作为主要工艺参数,对尺寸达到Φ1600 mm×5000 mm的连续波速调管进行高温真空烘烤排气,极限真空度优于8.0×10-8Pa;烘烤温度25～600℃连续可调,温区均匀性±5℃,具备充氮快速降温功能,整个工艺过程实现自动化控制。

论文目录

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 边悦,刘春艳

关键词: 环型正负电子对撞机项目,连续波速调管,特大型超高真空排气台,高温真空烘烤排气

来源: 真空科学与技术学报 2019年12期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑

专业: 工业通用技术及设备

单位: 北京北方华创真空技术有限公司

分类号: TB75

DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2019.12.06

页码: 1079-1082

总页数: 4

文件大小: 1119K

下载量: 35

相关论文文献

标签：环型正负电子对撞机项目论文;  连续波速调管论文;  特大型超高真空排气台论文;  高温真空烘烤排气论文;