论文摘要
将半反半透透镜应用于非球面检验。半反半透面和待检验面作为透镜的两个面,空间上相互靠近。半反半透面实现光线自准,同时也对波前进行补偿。这样,既消除了中心遮挡,又可以减小光学系统的尺寸,同时也增强了检验的能力。根据三级像差理论对这一方法进行了推导,进而给出了从待检面的参数得到检验系统参数的方法。根据这一方法设计了一个口径300 mm,焦距1200 mm凸反射镜的检验光路,通过光学设计软件ZEMAX进行优化,优化后系统的波像差小于1/(100λ),满足光学检验的要求。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 赵鹏玮,叶璐,胡文琦,郑列华
关键词: 几何光学,非球面辅助光学系统设计,三级像差理论,无像差双焦点,半反半透非球面检验
来源: 量子电子学报 2019年03期
年度: 2019
分类: 信息科技,基础科学
专业: 物理学
单位: 中国科学院上海技术物理研究所,中国科学院大学
分类号: O435
页码: 284-288
总页数: 5
文件大小: 430K
下载量: 29
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标签：几何光学论文; 非球面辅助光学系统设计论文; 三级像差理论论文; 无像差双焦点论文; 半反半透非球面检验论文;