微芯片爆炸箔起爆器及其平面高压开关研究进展

微芯片爆炸箔起爆器及其平面高压开关研究进展

论文摘要

爆炸箔起爆系统(Exploding Foil Initiator system,EFIs)的每一次技术升级都伴随着设计理念和制造工艺的革新,尤其是微机电系统(Micro Electro Mechanical System,MEMS)和低温共烧陶瓷(Low Temperature Co-fired Ceramics,LTCC)工艺,极大地促进了微芯片爆炸箔起爆系统(Micro Chip Exploding Foil Initiator system,McEFIs)的发展。简要分析了两种工艺制备微芯片爆炸箔起爆器(Micro Chip Exploding Foil Initiator,McEFI)的优缺点,列举了几种平面高压开关在电容放电单元(Capacitor Discharge Unit,CDU)中的工作性能,得出了开关的设计思路和研究方法的可行性。基于MEMS工艺和LTCC工艺制备及研究McEFI、平面高压开关和平面高压开关集成McEFI,分别总结了国内外的研究进展。提出了重点研究方向:深入研究MEMS工艺制备McEFI及其平面高压开关,以达到工程化应用;采用LTCC工艺,一体化烧结可制备具有独石结构的平面高压开关和McEFI。

论文目录

  • 1 引言
  • 2 微芯片爆炸箔起爆器
  •   2.1 基于MEMS工艺的McEFI
  •   2.2 基于LTCC工艺的McEFI
  • 3 平面高压开关
  •   3.1 平面高压开关性能分析
  •   3.2 单次触发高压开关
  •   3.3 平面火花隙三电极高压开关
  • 4 平面高压开关集成微芯片爆炸箔起爆器
  • 5 结束语
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 杨智,朱朋,徐聪,张秋,覃新,沈瑞琪

    关键词: 微芯片爆炸箔起爆系统,电容放电单元,微芯片爆炸箔起爆器,平面高压开关,研究进展

    来源: 含能材料 2019年02期

    年度: 2019

    分类: 工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑

    专业: 燃料化工,武器工业与军事技术

    单位: 南京理工大学化工学院

    基金: 江苏省自然科学基金资助(BK20151486)

    分类号: TQ563

    页码: 167-176

    总页数: 10

    文件大小: 1208K

    下载量: 136

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