等离子体辅助电子束蒸发论文_付朝丽,杨勇,马云峰,黄政仁

导读:本文包含了等离子体辅助电子束蒸发论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:电子束,等离子体,薄膜,光子,应力,残余,纳米。

等离子体辅助电子束蒸发论文文献综述

付朝丽,杨勇,马云峰,黄政仁^[1]（2015）在《等离子体辅助电子束蒸发反应沉积技术PIA-EB-Hf法制备的单层HfO2激光薄膜残余应力与化学计量比的调控》一文中研究指出二氧化铪(HfO_2)具有较高的折射率、较宽的透明波段(在351nm至1064nm范围内吸收较小)、良好的热稳定性、化学稳定性和机械特性,因此常作为抗激光损伤薄膜材料,广泛应用于高功率激光系统中。我们采用等离子体辅助电子束蒸发金属铪Hf并充氧反应的方法即PIA-EB-Hf法制备了均匀平整的单层氧化铪薄膜。由于化学计量比失配导致的强吸收和高残余应力造成的力损伤是HfO_2薄膜的主要激光损伤机制,因此薄膜残余应力和化学配比的调控对实现高激光损伤阈值至关重要。我们引入正交实验的手段,全面研究了沉积速率、沉积温度、充氧量和充氧位置以及APS离子源放电电流和偏压对薄膜残余应力和0/Hf化学配比的影响,并通过优化制备出高化学配比和低应力的薄膜,为进行后处理技术以及激光损伤研究奠定了基础。研究显示,PIA-EB-Hf法制备的薄膜残余应力均为压应力,且受沉积速率与离子源偏压的影响较为显着,其中随沉积速率增大,应力减小,但沉积速率过大,薄膜的均匀性变差;离子源偏压越大,薄膜结构向(-1 1 1)面结晶取向越明显,晶粒越小越致密,使残余应力很大。对于0/Hf配比的影响,沉积速率、离子源放电电流、充氧量均呈现出先增后减的趋势;0/Hf配比随离子源偏压增大而下降,但偏压高至160V化学配比反而有所增大,推测可能是结晶取向或者反蒸发过程中粒子重组造成的,但过高的偏压不利于薄膜均匀性。温度对薄膜性能的影响主要体现在促进粒子间反应、促进结晶取向、晶型转变、反蒸发、改善薄膜均匀性等,不同温度范围发挥的作用不同,因此对内应力和化学配比的贡献不同。(本文来源于《TFC'15全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集》期刊2015-08-21）

盛明裕,赵源,刘富强,胡巧多,郑玉祥^[2]（2011）在《等离子体辅助电子束蒸发低温制备SiO_2纳光子薄膜》一文中研究指出SiO2纳光子薄膜在光伏领域、纳光子和微电子学领域里有着广泛的应用.采用等离子体辅助电子束蒸发方法在低温条件下制备SiO2/Si纳光子薄膜样品,通过椭圆偏振光谱分析法研究薄膜光学性质随3种工艺条件(生长速率、衬底温度和射频等离子辅助功率)的变化规律,获得了薄膜的机械、化学和光学性能优于传统方法的纳光子薄膜工艺制备条件.(本文来源于《红外与毫米波学报》期刊2011年03期）

路丽霞^[3]（2004）在《等离子体辅助电子束蒸发金属Zn制备纳米ZnO薄膜机构和光学性质的研究》一文中研究指出ZnO是一种具有压电和光电特性的六方纤锌矿结构的直接带隙宽禁带半导体材料,室温下其禁带宽度为3.3 eV，激子束缚能高达60 meV，保证了其在室温下较强的激子发光,因此, ZnO在紫外光电器件方面有巨大的应用潜力。自1997年首次发现ZnO室温紫外受激发射以来，ZnO研究已成为紫外发射材料研究的又一热点。近年来，ZnO薄膜的制备有许多先进的沉积和生长技术，如分子束外延（MBE）、磁控溅射、电子束蒸发、金属有机化学气相沉积（MOCVD）、电化学、高温裂解、激光脉冲沉积（PLD）等方法。但是，由于氧气的键能非常大（5.16eV），在沉积ZnO时，不能提供充足的活性氧源，易形成大量的氧空位，所以，如果不用氧等离子体辅助，用上述方法很难在低温下生长具有化学配比的ZnO纳米薄膜。本论文介绍了用氧等离子体辅助电子束蒸发金属Zn后低温（300-500℃）退火的方法来制备结构和发光性能良好的ZnO纳米薄膜。直接沉积的薄膜具有用ZnO/Zn核壳结构，存在界面，通过X射线衍射谱(XRD)、拉蔓谱、X射线光电子能谱（XPS）以及光致发光谱（PL）分析了界面对样品的结构和发光性质的影响，同时分析了ZnO紫外发光的来源。实验结果表明，用氧等离子体辅助电子束蒸发金属Zn后退火的方法确实可以在400℃的低退火温度下生长出结构和光学性质良好的ZnO纳米薄膜。(本文来源于《东北师范大学》期刊2004-05-01）

等离子体辅助电子束蒸发论文开题报告

（1）论文研究背景及目的

此处内容要求：

首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。

写法范例：

SiO2纳光子薄膜在光伏领域、纳光子和微电子学领域里有着广泛的应用.采用等离子体辅助电子束蒸发方法在低温条件下制备SiO2/Si纳光子薄膜样品,通过椭圆偏振光谱分析法研究薄膜光学性质随3种工艺条件(生长速率、衬底温度和射频等离子辅助功率)的变化规律,获得了薄膜的机械、化学和光学性能优于传统方法的纳光子薄膜工艺制备条件.

（2）本文研究方法

调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。

观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。

实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。

文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。

实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。

定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。

定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。

跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。

功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。

模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。