论文摘要
针对砂轮划片机重复划片会降低芯片的加工精度,甚至损坏芯片的问题,基于Halcon软件平台提出一种提高划片精度的轨迹识别与规划方法。该方法结合了双线性插值和亚像素边缘检测算法,实现了轨迹的识别,进一步规划下次划片轨迹,并且提高划片精度。以被砂轮划片机划片芯片为实验背景,完成了对划片轨迹的识别与规划。实验结果表明,所提出的算法与传统的Canny算法比较,可以有效提高轨迹识别的精度,进而提高划片的精度。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 魏哲,张阳,张明明,孟繁滨
关键词: 边缘检测,双线性插值,亚像素
来源: 机械与电子 2019年12期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅱ辑,信息科技
专业: 无线电电子学,计算机软件及计算机应用
单位: 沈阳建筑大学机械工程学院
基金: 辽宁省教育厅科研专项(LJZ2016018)
分类号: TN405;TP391.41
页码: 38-41
总页数: 4
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