纳米Al2O3电泳沉积成膜的影响因素研究

纳米Al2O3电泳沉积成膜的影响因素研究

论文摘要

为研究电泳沉积薄膜沉积量分布特征及影响因素,对纳米Al2O3材料进行电泳沉积薄膜试验和仿真研究。试验过程中,对纳米Al2O3薄膜沉积的微观形貌、成分及沉积量与电压、沉积时间关系进行了研究;在仿真研究过程中,利用电场、流场、沉积场多场耦合技术研究分析了电场分布、流场特性、沉积时间等对电泳沉积纳米Al2O3薄膜的影响。结果表明:电场在阴极正、反两侧强弱分布使得正面沉积量明显大于反面,同时流场的涡流分布特征加速了粒子在阴极边缘沉积。仿真结果与试验结果吻合度较好,验证了仿真模型的有效性,为进一步研究电泳沉积流体流动特性和沉积过程提供了一种新的研究方法和手段。

论文目录

  • 0前言
  • 1 试验
  •   1.1 纳米Al2O3悬浮溶液配制
  •   1.2 电极预处理
  •   1.3 纳米Al2O3电泳沉积
  •   1.4 测试分析
  • 2 结果与讨论
  •   2.1 电泳沉积试验结果
  •   2.2 沉积理论分析
  •     2.2.1 电场分布模型
  •     2.2.2 流场分布模型
  •     2.2.3 沉积场数学模型
  •   2.3 仿真研究
  • 3 结论
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 杨胡坤,魏磊,王建萍

    关键词: 电泳沉积,仿真模型,电场,流场

    来源: 材料保护 2019年03期

    年度: 2019

    分类: 工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑

    专业: 无机化工,电力工业

    单位: 巢湖学院机械工程学院功能材料制备与应用重点实验室,东北石油大学机械科学与工程学院,江苏塔菲尔新能源科技股份有限公司

    基金: 安徽省教育厅重大项目(KJ2018ZD045),巢湖学院博士启动基金(KYQD-201709),东北石油大学校培育基金(NEPUPY-1-12)资助

    分类号: TQ153

    DOI: 10.16577/j.cnki.42-1215/tb.2019.03.004

    页码: 18-23+63

    总页数: 7

    文件大小: 1195K

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