氮气流量对磁控溅射制备类金刚石薄膜性能的影响

论文摘要

采用磁控溅射法以石墨为靶材在玻璃衬底上沉积了类金刚石(DLC)薄膜,用原子力显微镜表征了不同氮气流量条件下生长薄膜的形貌,用拉曼光谱仪、X射线光电子能谱仪和分光光度计分析了样品的微结构、元素的价态和透光性能.结果表明:沉积的薄膜均为非晶结构.通入2sccm氮气时,薄膜的光学透过率大大提高,此时DLC薄膜内的氮元素含量为5.88%,sp3键百分比为64.65%,ID/IG值为1.81;掺氮DLC薄膜在可见光范围内光学透过率达到95.69%.随着氮气流量增加,DLC薄膜光学透过率呈现出下降的趋势.退火2h后不掺氮DLC薄膜光学透过率呈小幅度下降,而掺氮DLC薄膜的光学透过率几乎没有变化.

论文目录

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 王洪美,李玉芳,沈鸿烈,翟子豪,陈洁仪,杨家乐,杨艳

关键词: 薄膜,氮气流量,磁控溅射,透过率,退火

来源: 光子学报 2019年04期

年度: 2019

分类: 基础科学,工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑

专业: 材料科学,工业通用技术及设备

单位: 南京航空航天大学材料科学与技术学院江苏省能量转换材料与技术重点实验室

基金: 国家自然科学基金(No.61774084),江苏省前瞻性联合研究项目(No.BY2016003-09),江苏省科技成果转化专项资金项目(No.BA2015121),中央高校基本科研业务费项目(No.3082017NP2017106),江苏高校优势学科建设工程项目~~

分类号: TB383.2

页码: 110-116

总页数: 7

文件大小: 2421K

下载量: 261

相关论文文献

• [1].直流反应磁控溅射CrN_X功能装饰涂层的研究[J]. 中国表面工程 2010(03)
• [2].氮气流量比对CrN涂层结构及摩擦磨损性能的影响[J]. 润滑与密封 2020(06)
• [3].氮气流量对热丝增强等离子体磁控溅射制备CrN_x薄膜组织结构与性能的影响[J]. 真空科学与技术学报 2017(10)
• [4].氮气流量对CrCN镀层摩擦学性能的影响[J]. 表面技术 2018(02)
• [5].氩气与氮气流量比对磁控溅射法制备TiN薄膜的影响[J]. 机械工程材料 2009(03)
• [6].氮气流量对磁控溅射TiN膜层色泽的影响[J]. 电镀与精饰 2013(03)
• [7].氧化铝陶瓷热浸镀铝工艺研究[J]. 稀有金属材料与工程 2011(S1)
• [8].氮气流量对原油中硫化氢气提影响规律试验研究[J]. 安全与环境学报 2020(03)
• [9].氮气流量对中频非平衡反应磁控溅射制备CrAlN薄膜性能的影响[J]. 中国表面工程 2011(04)
• [10].不同氮气流量AlCrTaTiZr高熵合金氮化物薄膜扩散阻挡性能研究[J]. 表面技术 2019(10)
• [11].氮气流量对玻璃衬底上低温沉积GaN薄膜结晶性的影响[J]. 半导体学报 2008(12)
• [12].氮气保护在铸钢丸生产水幕造粒中的应用[J]. 中国铸造装备与技术 2020(05)
• [13].氮气流量对非晶SiN_x到含有Si_3N_4晶粒的富硅-SiN_x薄膜转变的影响[J]. 内蒙古师范大学学报(自然科学汉文版) 2019(03)
• [14].配料组成和氮气流量对高钛渣合成TiN/β′-sialon粉体的影响[J]. 功能材料 2008(06)
• [15].N_2流量对脉冲溅射CrN_x薄膜结构和耐蚀性的影响[J]. 人工晶体学报 2018(12)
• [16].氮气流量对类富勒烯碳氮薄膜结构及力学性能的影响[J]. 表面技术 2018(02)
• [17].GCr15罩式炉退火过程氮气流量控制方法改进[J]. 金属制品 2019(03)
• [18].氮气流量对磁控溅射法沉积NGZO薄膜性能的影响[J]. 表面技术 2017(02)
• [19].在线脱氧技术在无氧铜熔炼中的应用[J]. 有色金属加工 2015(02)
• [20].离子束辅助磁控溅射沉积CrN_x薄膜结构以及力学性能研究[J]. 真空科学与技术学报 2013(12)
• [21].氮掺杂金刚石膜的生长特性[J]. 半导体学报 2008(06)
• [22].氮气流量对直流磁控溅射Zr-B-O-N薄膜摩擦学行为的影响[J]. 真空科学与技术学报 2018(10)
• [23].直流溅射沉积CrN薄膜组织结构与摩擦性能分析（英文）[J]. 稀有金属材料与工程 2018(08)
• [24].铝表面磁控溅射沉积ZrN薄膜色度的研究[J]. 热加工工艺 2018(06)
• [25].氮气流量对C、N共掺杂NiCr合金薄膜微观结构和电性能的影响[J]. 表面技术 2019(12)
• [26].氮气对碳纳米管生长的影响[J]. 西安工程大学学报 2013(02)
• [27].钢表面功能氮化铝陶瓷膜制备方法研究[J]. 机械制造与自动化 2016(05)
• [28].氮气流量对磁控溅射C掺杂TiO_2薄膜光学性能的影响[J]. 半导体光电 2020(03)
• [29].油浆高温快速裂解过程的气固相产物研究[J]. 燃料化学学报 2019(10)
• [30].氮气流量对磁控溅射ZrN纳米涂层结构及硬度的影响[J]. 西安交通大学学报 2011(01)

标签：薄膜论文;  氮气流量论文;  磁控溅射论文;  透过率论文;  退火论文;