Si含量对（AlCrTiZrHf）-Six-N高熵薄膜微观结构和力学性能的影响

论文摘要

采用自制的复合靶材,通过直流磁控溅射技术,在单晶Si基片上沉积一系列不同Si含量的（AlCrTiZrHf）-Six-N高熵薄膜,并依次采用X射线衍射仪（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、高透射电子显微镜（HRTEM）和纳米压痕仪对薄膜进行表征和测试,研究Si含量对其微观结构和力学性能的影响。实验结果显示,（AlCrTiZrHf）N薄膜成柱状晶生长,并具有（111）晶面的择优取向。Si元素的掺入,使得原薄膜的（111）峰消失,（AlCrTiZrHf）-Six-N薄膜晶粒得到细化,同时生成网状非晶相,从而形成非晶包裹纳米晶的纳米复合结构。随着Si含量的增加,薄膜力学性能先上升后下降,这种趋势归因于所形成的纳米复合结构,并且当Si含量为8%（体积比）时,薄膜的硬度和弹性模量最高,分别为26.6和250.9 GPa。

论文目录

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 牛景锐,李伟,刘平,张柯,马凤仓,刘新宽,陈小红,何代华

关键词: 薄膜,微观结构,力学性能,纳米复合结构

来源: 功能材料 2019年06期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑

专业: 材料科学,工业通用技术及设备

单位: 上海理工大学材料科学与工程学院

基金: 国家自然科学基金资助项目(51471110)

分类号: TB383.2

页码: 6191-6196

总页数: 6

文件大小: 3505K

下载量: 51

相关论文文献

标签：薄膜论文;  微观结构论文;  力学性能论文;  纳米复合结构论文;