固结磨料垫高效研磨氟化钙晶体研究

固结磨料垫高效研磨氟化钙晶体研究

论文摘要

氟化钙晶体的高效精密研磨加工是实现其超精密抛光加工的前提。采用单晶金刚石和聚集体金刚石磨料制备固结磨料垫(FAP),对比研究其研磨加工性能,探索不同种类的金刚石磨粒在固结磨料研磨垫自修整过程中的作用机理。结果表明:采用聚集体金刚石磨料制成的FAP研磨效率明显高于单晶金刚石FAP的,且其材料去除率更稳定,同时聚集体金刚石FAP的自修整能力要优于单晶金刚石FAP的。在10 kPa压力下,采用初始粒径为3~5μm的聚集体金刚石FAP研磨氟化钙晶体,其材料去除率达13.0μm/min,表面粗糙度值R_a为130.0 nm。

论文目录

  • 1 试验设计
  •   1.1 试验与检测设备
  •   1.2 试验方案
  • 2 试验结果及讨论
  •   2.1 材料去除率
  •   2.2 工件表面粗糙度及形貌
  •   2.3 FAP去除机理分析
  • 3 结论
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 沈功明,顾群飞,王科荣,唐超,牛凤丽,朱永伟

    关键词: 聚集体金刚石,固结磨料研磨垫,高效研磨,自修整

    来源: 金刚石与磨料磨具工程 2019年05期

    年度: 2019

    分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑

    专业: 无机化工

    单位: 南京航空航天大学机电学院江苏省精密与微细制造技术重点实验室

    基金: 国家自然科学基金资助项目(51675276)

    分类号: TQ132.32

    DOI: 10.13394/j.cnki.jgszz.2019.5.0012

    页码: 67-72

    总页数: 6

    文件大小: 1264K

    下载量: 79

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