导读:本文包含了干涉显微镜论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:显微镜,表面,步进,移相器,计量学,曲率,球面镜。
干涉显微镜论文文献综述
张树,施玉书,高思田,李琪,李伟[1]（2017）在《计量型白光干涉显微镜干涉图像处理技术》一文中研究指出为了实现微纳台阶样板表面叁维尺寸的快速精确计量,设计了计量型白光干涉显微镜。针对白光干涉显微镜获取的干涉图像,提取表面各测量位置的干涉信号,使用小波变换滤除信号噪声,建立白光干涉信号数学模型,使用Hilbert提取干涉信号的包络曲线,从干涉图像中解调出被测样品表面的叁维形貌信息。对标称值为281 nm和4 430 nm的台阶样板进行了测量,测量标准差为0. 8 nm和7. 9 nm,相对示值误差为0. 6%和0. 4%,实验结果表明:Hilbert变换算法能够快速精确地解算出表面相对高度,具有较高的运算效率和运算精度。(本文来源于《计量学报》期刊2017年S1期）
周舒[2]（2015）在《基于白光干涉显微镜的偏摆式非球面轮廓测量技术研究》一文中研究指出传统的接触式摆臂轮廓仪在测量非球面镜轮廓时扫描探针与非球面镜表面直接接触,存在划伤待测元件表面的风险且探针的直径会引入测量误差。为实现非球面镜的非接触式测量,本文研究了基于白光干涉显微镜的非球面偏摆式轮廓测量技术,以光学探头扫描非球面镜轮廓获得各采样点曲率值从而恢复非球面镜的面形轮廓。第一,研究了白光干涉显微镜测量曲率半径值的准确性,提出了最小二乘法拟合面形轮廓的计算方法,测量了标准球面镜,接触式探针等各类具有代表性元件的曲率半径值。结果表明,白光干涉显微镜测量曲率半径值是准确的。第二,为了给非接触偏摆式非球面镜测量方案提供参考,并对比检测结果。采用接触式轮廓仪对非球面镜与标准球面镜进行了面形检测。分析了接触式轮廓仪面形检测结果。结果表明,非球面镜以及标准球面镜的接触式轮廓仪检测结果与其名义值吻合。第叁,基于白光干涉显微镜,设计了非接触偏摆式非球面镜轮廓测量方案。提出了坐标补偿法对采样点横向坐标值进行补偿,基于曲率半径值使用积分法和拟合法进行面形恢复。与接触式轮廓仪轮廓测量结果相比非接触偏摆式轮廓测量结果中：标准球面镜测量结果准确,曲率半径值为49.97mm,面形偏差PV=95.2nm, RMS=27.6nm;非球面镜的检测结果中,双曲面镜测量结果准确,顶点曲率半径值为26.93mm,面形偏差PV=73.3nm, RMS=21.6nm。第四,针对非接触偏摆式非球面轮廓测量方法检测双曲面镜面形结果准确而检测抛物面镜面形结果存在误差的问题,进行了误差分析。结果表明抛物面镜测量结果存在误差的主要原因是抛物面各点曲率半径值超过干涉显微镜曲率半径测量阈值,与测量方案和算法本身无关。双曲面镜与球面镜测量结果的准确性说明了基于白光干涉显微镜的非球面偏摆式轮廓测量法的可行性。给出了方案的适用范围,即待测非球面镜面形轮廓各点处的曲率半径值不能超过干涉显微镜的曲率半径测量阈值。(本文来源于《南京理工大学》期刊2015-03-01）
李闽珏[3]（2015）在《部分相干干涉显微镜的设计与实验研究》一文中研究指出将部分相干光干涉技术与显微成像技术相结合的部分相干干涉显微镜,在微观表面形貌测量领域有着不可替代的作用,与单色激光干涉测量相比,它不仅能够解决相位不确定性问题,又能够通过显微放大对表面粗糙度进行测量,与传统的接触式测量方法相比,具有快速、非接触、高精度等一系列优点,因此多年来一直受到广泛的关注和研究。本论文从部分相干光干涉原理出发,对常用的叁种干涉显微物镜结构形式展开讨论,给出了叁种显微干涉模型的光强表达式以及详细推导过程。围绕干涉显微镜的光学结构设计展开详细论述,针对成像光路、照明光路以及光强匹配叁个方面分别提出了设计要求及解决方案,主要包括显微系统的结构选取、干涉显微物镜结构形式的选择、镜头的光学优化设计和像质评价、照明方式的选择与设计、以及光强匹配问题的考虑等几个方面内容。本文还针对干涉显微镜中的色散问题进行了研究,论述了色散的产生原因及其可能对干涉条纹造成的影响,并将数值孔径的因素纳入考虑,通过在显微干涉模型的基础上推导出了存在色散情况下的干涉光强表达式,并通过仿真结果论证了色散对于不同数值孔径的干涉条纹将产生不同程度的影响。最后对实际测量系统中条纹对比度较差的问题进行了分析,并测量了系统的残余像差以及分光平板的表面面型,论述了残余像差对干涉条纹产生的影响。(本文来源于《南京理工大学》期刊2015-01-01）
周舒,陈磊[4]（2014）在《干涉显微镜测量微小球面曲率半径》一文中研究指出研究了一种基于Mirau型干涉显微镜采用非接触式测量方法测量微小球面曲率半径的方法。针对微小曲率半径(R=0.5m)的球面,选用不同放大倍率(10,50,115倍)的物镜头由干涉显微镜测得待测球面的面型叁维轮廓图。基于阻尼最小二乘法,拟合叁维面型轮廓的最佳目标球面方程,从而得到被测球面面型的球面方程表达式,并由此计算出被测球面的曲率半径。讨论了拟合算法的局限性,验证了算法精度并分析了误差来源。实验表明,本方法在特定的曲率半径-放大(本文来源于《第十五届全国光学测试学术交流会论文摘要集》期刊2014-10-26）
朱华,曹如意,菅磊[5]（2013）在《应用于干涉显微镜的直线压电作动器》一文中研究指出提出了应用于干涉显微镜焦距调节的直线压电迭堆作动器和微动台。介绍了基于叁角位移放大原理的压电作动器结构设计,利用ANSYS的APDL语言实现了对作动器钢架结构的建模,并采用Optimus中自带的差分进化算法(DE)对其结构尺寸进行了优化。制作了实验样机,激光干涉实验表明:当驱动电压信号幅值为40～100V时,作动器位移放大倍数可以达到7。最后,将设计的直线作动器作为驱动核心安装在自行设计的微动台上,然后将组成的系统用于光学干涉显微镜。实验显示,整个系统在电压为24～40V,阶梯增量电压为0.8V时,步进分辨率可达23nm,满足干涉显微镜细分干涉条纹所需要的直线位移分辨率的要求。(本文来源于《光学精密工程》期刊2013年06期）
陆太进[6]（2009）在《微分干涉显微镜在珠宝鉴定中的应用》一文中研究指出近年来国内外珠宝玉石市场上出现了多种表面处理或优化过的商品,如多层表面镀膜、无机染色、离子注入改色、人工印记等。传统的宝石显微镜由于其放大倍率及分辨力的局限已不能有效地观察到此类局部经处理过的珠宝材料表面的微细鉴定特征。微分干涉显微镜通过特制棱镜(Normarski Prism)可观察样品表面垂直方向数纳米程度的微细形貌差异,便于与我们快速找到可能的表面微细形貌的鉴定特征。本文主要介绍微分干涉显微镜的光学原理和讨论在珠宝鉴定中的一些应用实例。(本文来源于《2009中国珠宝首饰学术交流会论文集》期刊2009-11-03）
许剑,欧蔼庆,黄佐华[7]（2008）在《用干涉显微镜测量薄膜厚度的改进与分析》一文中研究指出将干涉显微镜的应用推广到透明薄膜厚度的测量,扩展了干涉显微镜的测量范围和应用领域.基于菲涅耳公式,分析了透明薄膜界面的反射.根据白光干涉原理,利用圆形样品台的定量移动,实现了薄膜厚度的测量.(本文来源于《物理实验》期刊2008年02期）
朱健军,刘泊,唐亚洲[8]（2007）在《用于干涉显微镜的移相器件驱动电路设计》一文中研究指出介绍了压电晶体在干涉条纹扫描技术中的应用,对压电晶体的线性工作区域以及滞后和蠕变的问题进行了讨论,并对压电晶体的线性度等性能指标进行测试,确定出一个实验比较适合的工作范围.重点阐述了压电晶体驱动电路以及程序的设计,并讨论了调试和测试结果.(本文来源于《哈尔滨理工大学学报》期刊2007年06期）
高思田,邵宏伟,胡小唐[9]（2007）在《激光干涉显微镜的研究与实现》一文中研究指出通过在于涉显微镜上引入激光作为干涉光源,使用 CCD 接收干涉条纹信号,利用计算机进行数字化图象处理获取表面信息,实现了干涉显微镜测量自动化。单刻线样板测量深度可达50μm,相对扩展不确定度 U_(Rel)<0.15%(置信概率95%)。通过引入相移干涉技术,直接获得表面的轮廓形状,可用于 Ra<0.1μm的多刻线样板测量。单刻线和多刻线样板的测量结果能够直接溯源到米定义国家基准,满足了表面粗糙度量值传递系统的要求。(本文来源于《2007'中国仪器仪表与测控技术交流大会论文集（二）》期刊2007-06-01）
汪洁,谢铁邦[10]（2007）在《基于垂直扫描白光干涉法的6JA干涉显微镜的改造》一文中研究指出介绍了一种基于垂直扫描白光干涉法的6JA干涉显微镜改造的总体方案、系统测量原理、仪器结构,以及对标准样板及圆柱零件的测试结果。该测量系统已对本科生和研究生开出实验并投入实用,其垂直分辨率为2 nm,横向分辨率为0．3μm,垂直扫描范围为80μm。(本文来源于《实验技术与管理》期刊2007年04期）
干涉显微镜论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
传统的接触式摆臂轮廓仪在测量非球面镜轮廓时扫描探针与非球面镜表面直接接触,存在划伤待测元件表面的风险且探针的直径会引入测量误差。为实现非球面镜的非接触式测量,本文研究了基于白光干涉显微镜的非球面偏摆式轮廓测量技术,以光学探头扫描非球面镜轮廓获得各采样点曲率值从而恢复非球面镜的面形轮廓。第一,研究了白光干涉显微镜测量曲率半径值的准确性,提出了最小二乘法拟合面形轮廓的计算方法,测量了标准球面镜,接触式探针等各类具有代表性元件的曲率半径值。结果表明,白光干涉显微镜测量曲率半径值是准确的。第二,为了给非接触偏摆式非球面镜测量方案提供参考,并对比检测结果。采用接触式轮廓仪对非球面镜与标准球面镜进行了面形检测。分析了接触式轮廓仪面形检测结果。结果表明,非球面镜以及标准球面镜的接触式轮廓仪检测结果与其名义值吻合。第叁,基于白光干涉显微镜,设计了非接触偏摆式非球面镜轮廓测量方案。提出了坐标补偿法对采样点横向坐标值进行补偿,基于曲率半径值使用积分法和拟合法进行面形恢复。与接触式轮廓仪轮廓测量结果相比非接触偏摆式轮廓测量结果中：标准球面镜测量结果准确,曲率半径值为49.97mm,面形偏差PV=95.2nm, RMS=27.6nm;非球面镜的检测结果中,双曲面镜测量结果准确,顶点曲率半径值为26.93mm,面形偏差PV=73.3nm, RMS=21.6nm。第四,针对非接触偏摆式非球面轮廓测量方法检测双曲面镜面形结果准确而检测抛物面镜面形结果存在误差的问题,进行了误差分析。结果表明抛物面镜测量结果存在误差的主要原因是抛物面各点曲率半径值超过干涉显微镜曲率半径测量阈值,与测量方案和算法本身无关。双曲面镜与球面镜测量结果的准确性说明了基于白光干涉显微镜的非球面偏摆式轮廓测量法的可行性。给出了方案的适用范围,即待测非球面镜面形轮廓各点处的曲率半径值不能超过干涉显微镜的曲率半径测量阈值。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
干涉显微镜论文参考文献
[1].张树,施玉书,高思田,李琪,李伟.计量型白光干涉显微镜干涉图像处理技术[J].计量学报.2017
[2].周舒.基于白光干涉显微镜的偏摆式非球面轮廓测量技术研究[D].南京理工大学.2015
[3].李闽珏.部分相干干涉显微镜的设计与实验研究[D].南京理工大学.2015
[4].周舒,陈磊.干涉显微镜测量微小球面曲率半径[C].第十五届全国光学测试学术交流会论文摘要集.2014
[5].朱华,曹如意,菅磊.应用于干涉显微镜的直线压电作动器[J].光学精密工程.2013
[6].陆太进.微分干涉显微镜在珠宝鉴定中的应用[C].2009中国珠宝首饰学术交流会论文集.2009
[7].许剑,欧蔼庆,黄佐华.用干涉显微镜测量薄膜厚度的改进与分析[J].物理实验.2008
[8].朱健军,刘泊,唐亚洲.用于干涉显微镜的移相器件驱动电路设计[J].哈尔滨理工大学学报.2007
[9].高思田,邵宏伟,胡小唐.激光干涉显微镜的研究与实现[C].2007'中国仪器仪表与测控技术交流大会论文集（二）.2007
[10].汪洁,谢铁邦.基于垂直扫描白光干涉法的6JA干涉显微镜的改造[J].实验技术与管理.2007
论文知识图
