立体螺旋线圈微型电感耦合等离子体激发源激发测试研究

立体螺旋线圈微型电感耦合等离子体激发源激发测试研究

论文摘要

介绍了一种电感耦合等离子体(Inductively Coupled Plasma,ICP)光谱激发源,该激发源采用微结构立体螺旋线圈。实验以氩气作为实验气体,采用以立体螺旋线圈作为微电路组件主体的微型ICP激发源研究了立体螺旋线圈激发氩气的最佳结构参数:匝数为4.5匝,线圈直径为5mm,铜线直径为1mm;测得了激发源在激发氩气时的工作条件:最佳射频功率为15~20W,最佳工作气压为50~100Pa,并分析了射频功率和工作气压对于氩气谱线强度的影响。采用射频功率为15W、氩气工作气压为60Pa对空气样品进行激发,检测到氮离子、氦离子等,由此表明立体螺旋线圈微型ICP激发源对空气样品具有激发能力,并且立体螺旋线圈微型ICP激发源比平面微型ICP激发源的激发能力更强。

论文目录

  • 1 实验部分
  •   1.1 实验装置
  •   1.2 实验条件及步骤
  • 2 结果与讨论
  •   2.1 立体螺旋线圈最优参数的确定
  •   2.2 氩气谱线强度与射频功率和工作气压的关系
  •     2.2.1 氩气谱线强度与射频功率的关系
  •     2.2.2 氩气谱线强度与工作气压的关系
  •   2.3 激发空气样品实验
  • 3 结语
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 王永清,杨永旺,万真真,申玉民,刘庆学

    关键词: 微型光谱仪,激发源,电感耦合等离子体,立体螺旋线圈,工作参数

    来源: 冶金分析 2019年01期

    年度: 2019

    分类: 工程科技Ⅰ辑

    专业: 化学

    单位: 河北大学电子信息工程学院,国土资源部保定矿产资源监督检测中心

    基金: 国家自然科学基金(61440006)

    分类号: O657.31

    DOI: 10.13228/j.boyuan.issn1000-7571.010507

    页码: 8-14

    总页数: 7

    文件大小: 3750K

    下载量: 68

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