工作压强对PECVD法制备DLC薄膜微观结构与力学性能的影响

论文摘要

采用脉冲等离子体增强化学气相沉积方法（Pulse-PECVD）于316L不锈钢基体上制备类金刚石（DLC）薄膜,研究不同工作气压对DLC薄膜的沉积速率、表面形貌、微观结构、纳米硬度、弹性模量以及结合强度的影响规律。结果表明:随沉积气压增大,薄膜的沉积速率随之增大,压强在3 Pa时沉积速率可高达1. 4μm/h;不同气压下沉积的DLC薄膜均体现出平整光滑的表面形貌和高于不锈钢基体3倍以上的纳米硬度;沉积气压为2 Pa时,DLC薄膜在拉曼光谱中具有最小的ID/IG值,对应最高的纳米硬度16. 1 GPa和弹性模量152. 7 GPa,以及最低的粗糙度和摩擦因数0. 206。

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文章来源

类型: 期刊论文

作者: 李瑞武,周艳文,李建伟,范巍,郭媛媛,吴法宇

关键词: 薄膜,工作压强,拉曼光谱,力学性能

来源: 金属热处理 2019年01期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑

专业: 材料科学,工业通用技术及设备

单位: 辽宁科技大学表面工程研究所,辽宁荣信兴业电力技术有限公司

基金: 国家自然科学基金(51672119,51502126),辽宁科技大学重点实验室开放课题(USTLKFSY201705),辽宁省自然科学基金(20180550802)

分类号: TB383.2

DOI: 10.13251/j.issn.0254-6051.2019.01.035

页码: 162-167

总页数: 6

文件大小: 533K

下载量: 155

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