氧等离子体对以石墨为碳源合成的CVD金刚石颗粒的影响

论文摘要

采用一种新型的金刚石颗粒制备方法,利用微波辅助化学气相沉积技术,向反应室内通入氢气,以固态石墨片同时作为碳源和衬底沉积金刚石颗粒。利用该方法合成的金刚石颗粒具有微米级尺寸,可用作研磨剂、抛光剂、形核剂等。但是合成的金刚石颗粒中仍含有少量的非晶碳,且合成颗粒的尺寸均匀性有待提高。为解决以上问题,本文中在反应不同阶段(初期、中期及末期)通入氧气,形成氧等离子体;研究氧等离子体对合成的金刚石颗粒形貌、尺寸、质量、纯度的影响,以及随氧等离子体添加阶段不同而产生的不同变化情况。结果表明,经氧等离子体处理的金刚石颗粒形貌略有改变,表面光滑度更好,且金刚石颗粒尺寸的一致性有所提高;经过激光粒度测试发现,金刚石颗粒的尺寸主要集中在25～29μm。添加氧等离子体有助于消除金刚石中的非晶碳,提高金刚石纯度;且在反应初期添加氧等离子体可最大程度提高金刚石颗粒质量。

论文目录

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 姚凯丽,代兵,谭小俊,杨磊,刘康,舒国阳,韩杰才,朱嘉琦

关键词: 金刚石颗粒,石墨,微波辅助化学气相沉积,氧等离子体

来源: 人工晶体学报 2019年09期

年度: 2019

分类: 基础科学,工程科技Ⅰ辑

专业: 无机化工

单位: 哈尔滨工业大学航天学院

基金: 国家杰出青年科学基金项目(51625201),青年科学基金项目(51702066)

分类号: TQ163

DOI: 10.16553/j.cnki.issn1000-985x.2019.09.009

页码: 1621-1625

总页数: 5

文件大小: 244K

下载量: 94

相关论文文献

• [1].多切削刃金刚石颗粒烧结试验研究[J]. 金刚石与磨料磨具工程 2019(06)
• [2].铜–金刚石复合镀层金刚石颗粒复合量的研究[J]. 金刚石与磨料磨具工程 2017(04)
• [3].金刚石框架锯条的研究、实践探索与应用[J]. 超硬材料工程 2018(06)
• [4].新型金刚石多层有序排布装置及参数优化[J]. 超硬材料工程 2018(03)
• [5].单点金刚石修整笔的现状分析及发展趋势[J]. 制造技术与机床 2018(10)
• [6].相连金刚石颗粒图像的分割[J]. 金刚石与磨料磨具工程 2008(04)
• [7].金刚石/铜复合材料导热性能的数值模拟[J]. 材料热处理学报 2018(06)
• [8].陶瓷结合剂对金刚石颗粒把持力检测的研究[J]. 超硬材料工程 2010(05)
• [9].金刚石颗粒化学镀铜工艺优化[J]. 电镀与涂饰 2014(08)
• [10].微米级金刚石颗粒开断400V直流电弧的可行性探讨[J]. 电工电能新技术 2019(04)
• [11].金刚石颗粒表面镀铜层的控制氧化[J]. 北京科技大学学报 2009(06)
• [12].锯切大理石用金刚石框架锯条的生产工艺[J]. 石材 2019(08)
• [13].人造金刚石颗粒的镀镍工艺(英文)[J]. 电镀与涂饰 2011(10)
• [14].《金刚石与磨料磨具工程》2017年总目次[J]. 金刚石与磨料磨具工程 2017(06)
• [15].金刚石-碳化硅超硬复合材料的冲击强度[J]. 物理学报 2019(15)
• [16].金刚石压入岩石全过程研究[J]. 金刚石与磨料磨具工程 2018(05)
• [17].热处理对金刚石颗粒表面钛包覆层组织与性能的影响[J]. 金刚石与磨料磨具工程 2012(04)
• [18].铬包覆的金刚石颗粒增强铜基复合材料的热物理性能研究[J]. 化工新型材料 2018(04)
• [19].专利荟萃[J]. 铝加工 2016(03)
• [20].金刚石颗粒增强金属基高导热复合材料的研究进展[J]. 功能材料 2014(07)
• [21].高导热金刚石/玻璃复合材料的制备和性能研究[J]. 电子元件与材料 2009(11)
• [22].金刚石在医疗领域的应用[J]. 金刚石与磨料磨具工程 2018(02)
• [23].利用图像识别技术对金刚石颗粒数测量运用[J]. 智库时代 2018(26)
• [24].津巴布韦Eⅱ矿区金刚石砂矿地质特征及其成因探讨[J]. 资源信息与工程 2018(01)
• [25].添加金刚石颗粒的Ni60涂层组织和性能研究[J]. 表面技术 2016(09)
• [26].化学复合镀金刚石颗粒场发射性能的研究[J]. 沈阳师范大学学报(自然科学版) 2008(03)
• [27].金刚石颗粒/金属基复合材料的研究进展[J]. 特种铸造及有色合金 2012(07)
• [28].多级金刚石表孕镶钻头在坚硬岩屑砂泥岩互层的应用研究[J]. 探矿工程(岩土钻掘工程) 2018(12)
• [29].金刚石绳锯冷压齿生产工艺过程研究[J]. 智库时代 2018(51)
• [30].反相微乳液法制备球形金刚石堆积磨料与性能研究[J]. 功能材料 2018(10)

标签：金刚石颗粒论文;  石墨论文;  微波辅助化学气相沉积论文;  氧等离子体论文;