抛光技术论文_王嘉琪,肖强

导读:本文包含了抛光技术论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译,主要关键词:金相,离子束,精密,曲面,表面,技术,粘弹性。

抛光技术论文文献综述

王嘉琪,肖强[1](2019)在《磁流变抛光技术的研究进展》一文中研究指出磁流变抛光技术具有加工面形精度高、表面粗糙度小、加工过程易于控制、表面损伤小、加工过程中不产生新的损伤等优秀特点,因此多应用于加工要求高的精密和超精密领域,最常应用于光学加工方面。综述了磁流变抛光技术材料去除数学模型的建立进展,论证了该模型的正确性,总结出该基本模型具有通用性,模型能够适用于平面和凸球面等形面加工中,此外,对实现计算机控制抛光过程的准确性具有指导意义。概述了磁流变抛光工艺实验进展,总结磁流变抛光影响抛光效果的主要因素是磁场强度和磁场发生装置,在优化工艺参数组合下能够达到纳米级表面,能够消除亚表面损伤,还能够用以加工各种复杂形面等。就目前磁流变抛光技术的发展新方向作以总结,包括集群磁流变抛光技术、组合磁流变抛光技术以及磁流变-超声复合抛光技术,介绍这几种加工方法的工作原理以及能够达到的实验效果。最后对现阶段磁流变抛光技术中存在的问题做出总结,并针对各个问题提出相对应的思考和展望。(本文来源于《表面技术》期刊2019年10期)

李思,张雨[2](2019)在《化学机械抛光技术发展及其应用》一文中研究指出化学机械抛光技术是集成电路制造中的关键技术之一,是唯一可实现全局平坦化的工艺技术。根据集成电路技术节点与CMP的发展之间的对应关系,简述了化学机械抛光技术的产生、发展、应用、典型设备及其工艺耗材,并展望CMP技术的未来发展趋势。(本文来源于《电子工业专用设备》期刊2019年05期)

顾佳磊,陆连萍,纵海[3](2019)在《电解抛光技术在现场金相检测中的应用探索》一文中研究指出现场金相中机械抛光耗时长,工作强度大且制样效果不理想的情况。电解抛光腐蚀是一种相对于机械抛光和化学腐蚀的更加便捷和高效的方式,而且特别适合于不易于机械抛光的强度低、塑性大的单相合金。作者根据现场情况以及电解抛光的特性,选取不锈钢06Cr19Ni10、高温镍基合金00Cr30Ni60Fe10、不锈钢焊缝EQ308L、镍基合金焊缝EQNiCrFe-7A,并进行现场金相电解抛光和腐蚀的测试。经过总结:1.电解抛光具有操作简单、耗时少、可极大地提高现场金相制样的效率;2.电解抛光不适用于化学成分不均匀、显微偏析严重的金属及观察非金属夹杂物检验3.由于现场金相工作条件差、危险性大,对于电解抛光试剂的选择存在很大局限性;4.电解抛光在现场金相中的运用存在很多的问题,有待不断改进、完善和发展,以满足日益发展的需要。(本文来源于《金属热处理》期刊2019年S1期)

高玉魁,柳鸿飞[4](2019)在《低塑性抛光技术对材料表面完整性影响的研究进展》一文中研究指出低塑性抛光技术能够有效提高材料的疲劳性能、耐腐蚀性能、损伤容限性能,在国外已被广泛应用于航空发动机的表面改性处理。对近年来新兴的低塑性抛光技术的基本原理及优势进行了介绍,综述了低塑性抛光技术对表层残余应力、表面粗糙度、显微硬度以及微观组织结构等表面完整性因素的研究进展,分析了硬球直径、抛光压力、抛光速度、滚压次数等工艺参数对不同表面完整性因素的具体影响,最后对低塑性抛光技术在国内的研究与发展进行了展望。(本文来源于《航空制造技术》期刊2019年18期)

罗桂海[5](2019)在《新型石材研磨抛光技术与基体特性研究》一文中研究指出人造大理石由于具有安全环保、可加工性强以及美观耐用等优点,被广泛应用于建筑、装饰和雕刻等领域之中;它既具有天然石材的优点,也可以弥补天然石材的一些缺陷,通过研磨抛光可以提高人造石材光泽度,使其具有美丽的光泽与花纹。随着科技进步,人造石材逐渐代取代天然石材。基于此,深入研究了石材基体特性,以人造大理石为例研究了研磨抛光对于石材的影响,为人造石材研磨抛光工艺改进提供重要的参考依据。(本文来源于《现代制造技术与装备》期刊2019年06期)

李文琦,张建波,李恺,马小军,罗炳池[6](2019)在《易碎Be靶丸表面精密抛光技术与理论分析》一文中研究指出目的建立一种新的易碎空心微球抛光机模型,并研制出该样机,用于空心Be微球的精密抛光。方法采用限位孔设计解决微球低应力夹持问题,添加不同数量的配重球,用于调整待抛球的滑动摩擦力大小和防止其飞出限位孔。上下盘偏心放置,实现微球无规运动。采用白光干涉仪分析抛光后Be微球的表面粗糙度。结果抛光机模型计算表明,待抛球一直在做周期性的变速和变加速运动,其周期大小由上盘转动频率决定,变加速运动增加了微球的滑动摩擦成分,有利于提高微球抛光效率。此外,待抛球表面抛光轨迹呈现无规行走,这有利于抛光的均匀性。使用该原理抛光机,在24 h内能够将直径1.2 mm、均方根表面粗糙度510 nm的易碎铍(Be)靶丸抛光至85 nm。结论理论和实验共同验证了易碎微球抛光机模型的合理性和可行性,上下盘放置方式、限位孔大小设计和配重球数量等关系着易碎微球的抛光均匀性和抛光效率。(本文来源于《表面技术》期刊2019年05期)

刘笑[7](2019)在《RB-SiC反射镜Si改性层的粘弹性流体超光滑抛光技术研究》一文中研究指出随着航空航天事业的发展,对具有复杂型面的太空望远镜反射镜的面形精度和表面质量要求越来越高,需求量也越来越大。反应烧结碳化硅(RB-SiC)因其优异的物理、化学和机械性能成为大口径反射镜的主要材料之一。由于RB-SiC中硅相和SiC相存在硬度差异,必须对表面进行非晶硅改性后才能通过抛光获得超光滑表面。研究新的超光滑表面抛光方法,解决现有的超光滑表面抛光方法存在的抛光效率低、成本高和表面异常腐蚀等问题,对于大口径RB-SiC反射镜的超精密加工具有重要的意义。本研究提出一种应用新型水性粘弹性抛光流体的内循式超光滑表面抛光方法,基于抛光流体的流变性和壁面滑移特性研究,建立了流体本构方程,优选了流体配方和抛光工艺参数,实现了单晶硅和非晶硅的超光滑表面抛光。研制出了以吸水树脂与增稠剂复配水凝胶为载体的水性粘弹性抛光流体,证明了该抛光流体具有爬杆效应和挤出胀大现象,抛光流体中的磨粒不发生沉降,稳态粘度随着剪切速率先增大后减小;通过观测抛光流体的微观形貌,发现流体表面分布了大量磨粒,内部是叁维网状结构;抛光流体的流变性实验研究发现流体的动态粘弹特性随着吸水树脂浓度的增大而增大,随着磨粒的质量分数增大而增大,随着磨粒的粒径增大而减小。通过Mooney法证明了该抛光流体具有壁面滑移特性,流体的壁面滑移速度随着剪切应力的增大而增大;选用PTT非牛顿流体本构模型,利用流体仿真软件Polymmat拟合了本构模型的系数,建立了水性粘弹性抛光流体的本构方程。利用流体动力学仿真软件Polyflow对抛光流体在抛光盘流道中的流动状态进行了数值仿真研究,分析了不同槽深、不同入口流量及不同壁面滑移条件对抛光流体的压力、壁滑速度、剪切速率的影响,为抛光工艺参数的选择与实验系统的搭建提供依据。研制了内循环式抛光系统。首先对研磨单晶硅表面进行抛光实验研究,获得了槽深、磨料种类、磨料粒径和质量分数对硅片表面粗糙度和材料去除率的影响规律,发现本抛光方法可通过磨粒对硅的塑性域材料去除方式获得光滑表面;对不同初始表面质量的单晶硅片进行了抛光,初始粗糙度Ra约为lOnm的硅片,粗糙度降低到6.18nm;初始粗糙度为约1nm的硅片,保持表面粗糙度基本不变的情况也实现了材料的去除;最后使用含粒径为3μm氧化铝磨料的粘弹性抛光流体对非晶硅改性层进行了抛光,粗糙度Ra由3.12nm降低到1.64nm。(本文来源于《山东大学》期刊2019-05-14)

冯时[8](2019)在《熔石英表面离子束抛光技术研究》一文中研究指出随着光学技术的快速发展,高性能光学系统在国防、民用和生物医疗等领域的应用越来越广泛,对精密光学元件的需求日益增加。离子束抛光作为获取超光滑表面的关键技术手段,具有与元件表面非接触式的加工特点,可以避免其他机械抛光带来的边缘效应与表面损伤,达到原子量级的材料去除,获得超光滑表面。本文基于溅射理论,通过SRIM软件仿真分析离子能量和离子入射角度对溅射产额的影响,采用法拉第扫描方法研究离子源稳定性,并通过实验探究,从峰值去除率、体积去除率和半高全宽的角度评价离子束抛光回转高斯型去除函数的稳定性。基于田口法设计正交实验确定最优参数组合,并通过迭代实验对光学元件进行加工,经非接触式干涉仪检测,对数据进行分析确定了离子束抛光对改善光学元件表面形貌的能力,可以实现表面PV值的快速收敛,但是表面粗糙度有所上升。为了降低表面粗糙度,采用离子束溅射的方法,在基底表面沉积一定厚度的薄膜。在对工艺进行优化改进的过程中,研究了离子束溅射沉积薄膜的均匀性问题,通过优化离子束在样品表面不同位置的驻留时间,提高了光学元件表面薄膜的均匀性。对沉积速率进行计算分析,研究沉积速率对镀膜元件表面质量的影响,实现了离子束溅射沉积工艺对光学元件表面质量的进一步改善。最终表面粗糙度相较于元件原始值降低了0.34nm,有效改善了熔石英光学元件的表面质量。(本文来源于《长春理工大学》期刊2019-05-01)

[9](2019)在《复杂曲面机器人精密研磨抛光技术及装备》一文中研究指出中国科学院沈阳自动化研究所研制了一套集数字化测量、误差评价、自适应加工路径生成、磨削过程力/位置混合控制、自适应工艺参数优化为一体的复杂曲面零件机器人磨削智能化加工系统,解决了复杂曲面机器人精密研磨抛光工艺及装备中的一系列共性技术,实现了极限工况下强约束高性能精密复杂曲面部件的高效加工,具有重要的理论价值和应用前景。目前,该系统已在航空、航天、汽车、民用等领域得到了应用,为推动机器人先进制造技术用于生产实践的转变提供了技术支撑。发展出的面向复杂曲面精密高速加工的机器人自动加工新技术、新工艺和新方法,相对于传统人工操作方法,综合效率提升达50%以上,经济效益及社会效益显着。(本文来源于《自动化博览》期刊2019年04期)

王新海,张永军,马瑾[10](2019)在《基于CNKI的气囊抛光技术专利分析》一文中研究指出以CNKI中国学术期刊网络出版总库为数据库,通过检索、筛选和统计国内有关气囊抛光为主题的专利申请,对年度发文量、关键词分布等进行了统计,同时对将气囊抛光技术运用于光学元件抛光领域的重要关键技术进行了分析。(本文来源于《山东工业技术》期刊2019年09期)

抛光技术论文开题报告

(1)论文研究背景及目的

此处内容要求:

首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景,再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题,并提出你的论文准备的观点或解决方法。

写法范例:

化学机械抛光技术是集成电路制造中的关键技术之一,是唯一可实现全局平坦化的工艺技术。根据集成电路技术节点与CMP的发展之间的对应关系,简述了化学机械抛光技术的产生、发展、应用、典型设备及其工艺耗材,并展望CMP技术的未来发展趋势。

(2)本文研究方法

调查法:该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。

观察法:用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。

实验法:通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。

文献研究法:通过调查文献来获得资料,从而全面的、正确的了解掌握研究方法。

实证研究法:依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。

定性分析法:对研究对象进行“质”的方面的研究,这个方法需要计算的数据较少。

定量分析法:通过具体的数字,使人们对研究对象的认识进一步精确化。

跨学科研究法:运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。

功能分析法:这是社会科学用来分析社会现象的一种方法,从某一功能出发研究多个方面的影响。

模拟法:通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。

抛光技术论文参考文献

[1].王嘉琪,肖强.磁流变抛光技术的研究进展[J].表面技术.2019

[2].李思,张雨.化学机械抛光技术发展及其应用[J].电子工业专用设备.2019

[3].顾佳磊,陆连萍,纵海.电解抛光技术在现场金相检测中的应用探索[J].金属热处理.2019

[4].高玉魁,柳鸿飞.低塑性抛光技术对材料表面完整性影响的研究进展[J].航空制造技术.2019

[5].罗桂海.新型石材研磨抛光技术与基体特性研究[J].现代制造技术与装备.2019

[6].李文琦,张建波,李恺,马小军,罗炳池.易碎Be靶丸表面精密抛光技术与理论分析[J].表面技术.2019

[7].刘笑.RB-SiC反射镜Si改性层的粘弹性流体超光滑抛光技术研究[D].山东大学.2019

[8].冯时.熔石英表面离子束抛光技术研究[D].长春理工大学.2019

[9]..复杂曲面机器人精密研磨抛光技术及装备[J].自动化博览.2019

[10].王新海,张永军,马瑾.基于CNKI的气囊抛光技术专利分析[J].山东工业技术.2019

论文知识图

电流变抛光非导体材料磁悬浮抛光中形成的粒子刷磁流变抛光材料去除机理电流变抛光机理电火花和电流变抛光复合加工

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抛光技术论文_王嘉琪,肖强
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