论文摘要
CVD腔室需维持一定的温度来保证工艺环境稳定及防止工艺气体冷凝。流体加热因相对电加热而言有更好的柔性,而被较多的采用。本文结合CVD腔室的流体换热计算过程,描述流体换热的影响因素,可用于换热系统的设计选型及参数调节。并可推广至其他类似的流体换热设备。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 陈英男
关键词: 压力,流量,换热,流体,计算
来源: 科技风 2019年02期
年度: 2019
分类: 基础科学,工程科技Ⅰ辑
专业: 无机化工
单位: 沈阳拓荊科技有限公司
分类号: TQ051.5
DOI: 10.19392/j.cnki.1671-7341.201902044
页码: 48
总页数: 1
文件大小: 109K
下载量: 19
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