论文摘要
自动对焦技术是薄膜晶体管液晶面板（TFT-LCD）检测中非常重要的一环。针对TFT-LCD液晶面板的检测中需要快速准确地对焦到液晶面板被测面的问题,提出一种可自动对焦的显微镜系统。将数字光栅投影到物面上,先通过分光棱镜将光分成两路,一路被面阵CCD接收,另一路通过分光棱镜和反射镜将光栅的像分成两路,分别成像在线阵CCD的靶面上。通过线阵CCD上两个光栅图清晰度的对比实现离焦方向和离焦量的判断,使用微位移平台移动物镜,实现显微镜的自动对焦。本研究对自动对焦数字光栅的影响因素进行分析,并采用变周期数字光栅进行对焦。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 刘璐,闫佩正,但西佐,鲍思源,王永红
关键词: 显微,自动对焦,等周期光栅,变周期光栅
来源: 光学学报 2019年08期
年度: 2019
分类: 基础科学,工程科技Ⅱ辑,信息科技
专业: 仪器仪表工业,电信技术,计算机软件及计算机应用
单位: 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院
基金: 国家重点研发计划(2016YFF0101803),国家自然科学基金(51805137)
分类号: TH742;TP391.41;TN873.93
页码: 276-283
总页数: 8
文件大小: 2628K
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