论文摘要
设计了一种基于条纹投影的自动对焦显微镜系统。通过红外光源将光栅掩膜板投射到被测物表面,用于对焦判断。通过白光光源进行系统照明。使用带通滤光片分离出由红外光源投射的光栅像,并由线阵CCD采集,用于离焦量和离焦方向的判断。由白光光源照射得到被测物的像,并由面阵CCD接受用于直接观测。使用Tracepro对设计的系统进行仿真,分析得到适用于线阵CCD采集的光栅图的一维清晰度评价函数,并使用系统对不同被测物进行仿真对焦实验与误差分析。仿真结果表明,本系统可对不同被测物进行自动对焦。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 刘璐,闫佩正,但西佐,胡慧然,鲍思源,王永红
关键词: 显微镜,自动对焦,清晰度,光栅掩膜板
来源: 测控技术 2019年07期
年度: 2019
分类: 信息科技,工程科技Ⅱ辑
专业: 仪器仪表工业
单位: 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院
基金: 国家重点研发计划(2016YFF0101803),国家自然科学基金项目(51805137)
分类号: TH742
DOI: 10.19708/j.ckjs.2019.04.217
页码: 50-54
总页数: 5
文件大小: 964K
下载量: 268
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