论文摘要
集成电路中产生的废气是比较多的,主要是由化学气相沉积和挥发性有机物两种,常用的处理措施有除害装置、集中处理、原料替代和减少用量等。就集成电路制造中废气处理措施进行了分析。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 吕健
关键词: 集成电路制造,废气处理,措施
来源: 云南化工 2019年08期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅰ辑
专业: 环境科学与资源利用
单位: 有研半导体材料有限公司
分类号: X76
页码: 21-22
总页数: 2
文件大小: 1151K
下载量: 81
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