线速度对金刚石线锯及硅片表面质量的影响

论文摘要

运用ABAQUS有限元分析软件建立金刚石线切割单晶硅的二维模型,并进行了二维切割仿真。通过改变金刚石单颗磨粒的切削速度,分析了单晶硅材料在不连续切割过程的应力场、切削力及不同切削速度对硅材料损伤层的影响。

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类型: 期刊论文

作者: 郭俊文,苏宇飞

关键词: 金刚石磨粒,二维切割,切削速度,硅材料

来源: 工具技术 2019年11期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑

专业: 无机化工

单位: 内蒙古中环光伏材料有限公司,内蒙古呼和浩特供电局武川分局

分类号: TQ163

页码: 63-66

总页数: 4

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标签：金刚石磨粒论文;  二维切割论文;  切削速度论文;  硅材料论文;