论文摘要
提出了一种基于光纤法布里-珀罗低相干干涉的绝对距离测量系统,不仅能对绝对距离进行测量,而且还能对温度、压力、应力等量进行绝对测量。系统利用闪耀光栅将来自法布里-珀罗干涉仪的低相干干涉信号进行散射,使不同波长的干涉信号由线阵CCD不同的像元探测。利用CCD探测到的干涉信号相邻波谷的波数差得到法布里-珀罗干涉仪的腔长,从而实现绝对距离测量。与其它低相干干涉测量系统相比,此系统无需扫描干涉仪的光程,一次成像即实现测量。测量系统简单,测量速度快,对静态物理量和动态物理量都能进行测量。系统的光纤结构使得它还能进行远程测量。实验结果表明系统对绝对距离测量的分辨率可达3.317 nm,10次重复测量的标准差为10.7 nm。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 王韵致,谢芳,王辉,韩飞
关键词: 低相干干涉,法布里珀罗干涉仪,绝对距离测量,远程测量
来源: 光电子·激光 2019年07期
年度: 2019
分类: 信息科技,基础科学,工程科技Ⅱ辑
专业: 物理学,仪器仪表工业
单位: 北京交通大学理学院光电信息科学与工程实验室
基金: 北京市自然科学基金(3172024)资助项目
分类号: O436.1;TH741.1
DOI: 10.16136/j.joel.2019.07.0001
页码: 731-736
总页数: 6
文件大小: 1478K
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标签：低相干干涉论文; 法布里珀罗干涉仪论文; 绝对距离测量论文; 远程测量论文;