双侧串联涡旋干式真空泵内气体流动的CFD模拟

双侧串联涡旋干式真空泵内气体流动的CFD模拟

论文摘要

近年来,计算流体力学(CFD,Computational Fluid Dynamics)发展迅速并被应用于流体机械内部流场的研究。CFD方法能够提供流体力学和热力学的精确分析。在真空泵技术领域不断有CFD成功应用的成果被报道。本文针对现有的美国VARIAN TriScroll 300双侧涡旋干式真空泵实体建立了双侧串联涡旋干式真空泵流动区域的几何模型,借助ANSYS-ICEM软件对流动模型进行网格划分,并基于CFD通用软件ANSYS-CFX和动网格技术建立了双侧涡旋干式真空泵内瞬态流动的仿真模型,分析了泵腔内的工作过程、流动现象及流动特征、流场及热场分布情况,为进一步研究干式涡旋真空泵的理论和设计问题进行了有益的尝试。

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类型: 国际会议

作者: 邓文宇,孙宝玉,段永利,齐丽君

关键词: 涡旋干式真空泵,双侧,计算流体力学,动网格技术,数值模拟

来源: 第十四届国际真空科学与工程应用学术会议 2019-08-04

年度: 2019

分类: 基础科学,工程科技Ⅱ辑

专业: 力学,工业通用技术及设备

单位: 沈阳中北通磁科技股份有限公司

分类号: TB752;O35

DOI: 10.26914/c.cnkihy.2019.004785

页码: 117-130

总页数: 14

文件大小: 1853k

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双侧串联涡旋干式真空泵内气体流动的CFD模拟
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