论文摘要
采用简单的热化学输运方法,通过控制生长温度和时间,在钨箔上制备了不同厚度的Al4C3薄膜.通过扫描电镜（SEM）、X射线衍射（XRD）和拉曼光谱分析等手段对样品的形貌和结构进行了系列表征.场电子发射测试表明,厚度为300 nm、600 nm和1 000 nm的Al4C3薄膜的开启电压分别为4.2 V/μm、5.8 V/μm和8.6 V/μm（发射电流10 A/cm2）.这种现象可归因于绝缘Al4C3层的厚度和空间电荷效应引起的电子输运能力差异.
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 梁英
关键词: 薄膜,化学气相沉积,场电子发射特性
来源: 广州航海学院学报 2019年01期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑
专业: 材料科学,工业通用技术及设备
单位: 广州航海学院基础部
基金: 广东省自然基金项目(2016A030310103),广州航海学院创新强校工程(A330170,B510630)
分类号: TB383.2
页码: 60-64
总页数: 5
文件大小: 989K
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