论文摘要
本文属于微波裂片技术领域。该设备包括硅片传送室、硅片预热腔室、硅片恒温室、微波裂片室、硅片冷却室和硅片分选区;利用此设备进行TM制程的微波裂片时,通过启动测温系统监测加热腔室内的温度,并通过控制系统控制及调节加热腔室内的温度,使微波裂片过程中各阶段的温度能够精确控制,满足硅片裂片的实际温度要求,保证制备出高质量的硅片。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 李捷
关键词: 裂片,微波,设备
来源: 山东工业技术 2019年12期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑
专业: 无机化工
单位: 沈阳硅基科技有限公司
分类号: TQ127.2
DOI: 10.16640/j.cnki.37-1222/t.2019.12.015
页码: 19
总页数: 1
文件大小: 1738K
下载量: 14
相关论文文献
- [1].微波治疗慢性宫颈炎的护理措施及效果[J]. 中国医药指南 2020(09)
- [2].2018年首届中国微波周花絮[J]. 微波学报 2018(03)
- [3].微波联合牛痘疫苗致炎兔皮提取物治疗带状疱疹后神经痛43例效果观察[J]. 中国社区医师 2016(02)
- [4].微波治疗慢性宫颈炎的护理观察[J]. 实用妇科内分泌杂志(电子版) 2016(06)
- [5].微波地球[J]. 人生与伴侣(上半月版) 2013(02)
- [6].妇科千金片联合微波治疗慢性宫颈炎患者的效果观察[J]. 临床合理用药杂志 2017(29)
- [7].微波加快化学反应中非热效应研究的新进展[J]. 科技资讯 2016(09)
- [8].微波治疗慢性宫颈炎的临床观察[J]. 大家健康(学术版) 2015(19)
- [9].微波治疗宫颈糜烂的讨论[J]. 中国医药指南 2013(03)
- [10].洁悠神长效抗菌材料联合微波治疗宫颈糜烂59例疗效观察[J]. 临床合理用药杂志 2013(04)
- [11].微波治疗在耳鼻咽喉科应用体会分析[J]. 现代诊断与治疗 2013(04)
- [12].微波治疗慢性宫颈炎的60例疗效观察[J]. 中国卫生产业 2013(30)
- [13].电针配合微波治疗周围性面瘫85例[J]. 医学信息(中旬刊) 2011(04)
- [14].微波治疗口腔扁平苔藓66例的疗效观察[J]. 当代医学 2011(29)
- [15].治糜灵栓联合微波治疗宫颈糜烂50例[J]. 陕西中医学院学报 2008(04)
- [16].微波學報[J]. 微波学报 2018(S1)
- [17].微波治疗慢性宫颈炎患者的临床效果[J]. 医疗装备 2017(07)
- [18].微波治疗慢性宫颈炎的效果分析[J]. 实用妇科内分泌杂志(电子版) 2016(13)
- [19].保妇康栓联合微波治疗慢性宫颈炎疗效观察[J]. 实用妇科内分泌电子杂志 2015(10)
- [20].微波治疗慢性扁桃体炎的疗效观察[J]. 大家健康(学术版) 2015(02)
- [21].微波治疗宫颈糜烂40例临床观察[J]. 生物技术世界 2015(07)
- [22].虾的微波论[J]. 饮食科学 2012(04)
- [23].微波治疗结核性渗出性胸膜炎中的护理与观察[J]. 安徽医学 2013(05)
- [24].微波治疗宫颈糜烂280例疗效观察[J]. 中外医学研究 2012(08)
- [25].微波治疗在胸壁结核中的应用[J]. 赣南医学院学报 2012(04)
- [26].微波治疗慢性宫颈炎效果的临床观察和分析[J]. 中国医药指南 2012(33)
- [27].微波治疗老年慢性前列腺炎患者的护理体会[J]. 中国实用医药 2011(21)
- [28].微波治疗宫颈糜烂248例观察[J]. 医学信息(中旬刊) 2011(09)
- [29].微波治疗老年带状疱疹疗效观察[J]. 中国医药导刊 2011(04)
- [30].中药保留灌肠联合微波治疗慢性盆腔炎130例的疗效观察[J]. 贵阳中医学院学报 2011(06)