二氧化钒薄膜制备工艺的研究进展

二氧化钒薄膜制备工艺的研究进展

论文摘要

阐述了二氧化钒的基本特性及应用。对几种二氧化钒薄膜制备工艺做了叙述,强调了掺杂和退火处理对薄膜相变温度和特性的影响。

论文目录

  • 1 二氧化钒薄膜的基本特性及应用
  • 2 二氧化钒薄膜的制备工艺
  •   2.1 溶胶凝胶法
  •     2.1.1 无机溶胶凝胶法
  •     2.1.2 有机溶胶凝胶法
  •   2.2 溅射法
  •   2.3 化学气相沉积法
  •   2.4 脉冲激光沉积法
  •   2.5 其它制备工艺
  • 3 结语
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 张立生,李慧,张汉鑫,梁精龙

    关键词: 二氧化钒,工艺,相变,特性

    来源: 热加工工艺 2019年06期

    年度: 2019

    分类: 工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑

    专业: 无机化工,材料科学,工业通用技术及设备

    单位: 华北理工大学冶金与能源学院现代冶金技术教育部重点实验室

    基金: 国家自然科学基金项目(51674120),河北省自然科学基金项目(E2016209163),河北省高等学校科学技术研究项目(BJ2017050)

    分类号: TB383.2;TQ135.11

    DOI: 10.14158/j.cnki.1001-3814.2019.06.010

    页码: 41-44

    总页数: 4

    文件大小: 119K

    下载量: 619

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