Sc2O3掺杂对Y2O3-Gd2O3-HfO2难熔稀土氧化物直热式阴极热发射性能的影响

论文摘要

Y2O3-Gd2O3-HfO2难熔稀土氧化物直热式阴极具有制备工艺简单,热发射电流密度大,次级电子发射系数大,寿命长等优点,在大功率连续波磁控管中具有很好的应用潜力。为进一步提高Y2O3-Gd2O3-HfO2阴极的热发射性能,本文对该阴极的发射物质进行了不同比例Sc2O3的掺杂,结果表明,Sc2O3的掺杂能有效提高Y2O3-Gd2O3-HfO2阴极的热发射电流密度,其中,掺杂10%（质量比）Sc2O3的Y2O3-Gd2O3-HfO2阴极热发射电流密度在1500℃下达到5.3 A/cm2,比未掺杂时提升了35.5%。由于在阴极激活过程中Sc2O3与Y2O3形成了固溶体,合成氧化物中Sc得到电子并释放出游离Sc,增强了涂层的导电性,所以,Sc2O3掺杂Y2O3-Gd2O3-HfO2难熔稀土氧化物直热式阴极热发射性能具有显著提高。

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文章来源

类型: 期刊论文

作者: 陈晓倩,王小霞,张兆传,李云,赵庆兰

关键词: 直热式阴极,掺杂,热发射电流密度

来源: 真空科学与技术学报 2019年02期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑,基础科学

专业: 物理学

单位: 中国科学院电子学研究所高功率微波源与技术重点实验室,中国科学院大学

基金: 国家自然科学基金项目(批准号:61771454)

分类号: O462

DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2019.02.07

页码: 131-135

总页数: 5

文件大小: 946K

下载量: 50

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