论文摘要
半导体制造过程中产生的晶背研磨废水具有有机物浓度低,悬浮物含量高的特点,针对某半导体厂的晶背研磨废水和反洗废水,设计采用UF-RO工艺处理。工程应用表明:在晶背研磨废水TOC质量浓度为0.5～5.0 mg/L,浊度为80～100 NTU, SiO2质量浓度为2～4 mg/L,反洗废水TOC质量浓度为1.5～3.0 mg/L,浊度为4～8NTU时,处理出水TOC质量浓度低于1 mg/L,浊度低于0.1 mg/L, SiO2质量浓度低于1 mg/L,完全可以回用至超纯水预处理系统。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 王春冬,李正华,应晓芳
关键词: 半导体废水,晶背研磨废水,超滤,反渗透
来源: 工业用水与废水 2019年05期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅰ辑
专业: 环境科学与资源利用
单位: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
分类号: X76
页码: 75-77
总页数: 3
文件大小: 166K
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