AFM电场辅助纳米加工焦耳热分析

AFM电场辅助纳米加工焦耳热分析

论文摘要

原子力显微镜是一种重要的纳米加工工具,在强电场的辅助下,可以实现凸起或凹陷的纳米结构加工,为纳米器件的制造提供技术支持。电场的使用不可避免地引入了电流,从而使得加工过程中存在焦耳热的影响。原子力显微镜电场辅助纳米主要加工包括阳极氧化与场蒸发沉积两种。阳极氧化加工生成的纳米结构为绝缘物质,该物质阻断阳极氧化加工的进一步进行,因此加工电流随着加工的进行逐渐衰减,焦耳热的影响较小;而场蒸发沉积加工得到的纳米结构为导电物质,所产生的焦耳热可以烧蚀样品表面,形成纳米沟痕。本文通过分析加工中焦耳热的作用,为开展精确的原子力显微镜电场辅助加工提供借鉴。

论文目录

  • 0 引言
  • 1 AFM电场加工温度仿真
  • 2 阳极氧化加工
  •   2.1 阳极氧化加工原理
  •   2.2 阳极氧化加工焦耳热分析
  • 3 场蒸发沉积加工焦耳热分析
  •   3.1 场蒸发沉积加工原理
  •   3.2 场蒸发沉积加工焦耳热分析
  • 4 结论
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 刘增磊,高爱莲,刘忠超,田金云,杨旭,盖晓华

    关键词: 原子力显微镜,纳米加工,纳米器件

    来源: 南阳理工学院学报 2019年04期

    年度: 2019

    分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑

    专业: 材料科学,仪器仪表工业

    单位: 南阳理工学院电子与电气工程学院

    基金: 国家自然科学基金(61504072),河南省高等学校重点科研项目(19A413010)

    分类号: TB383.1;TH742

    DOI: 10.16827/j.cnki.41-1404/z.2019.04.009

    页码: 44-48

    总页数: 5

    文件大小: 984K

    下载量: 42

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