导读:本文包含了等离子体枪论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:类金刚石薄膜,钛合金,大气压等离子体枪,耐磨性能
等离子体枪论文文献综述
陈飞,周海,张跃飞,吕反修[1]（2012）在《钛合金表面大气压等离子体枪制备类金刚石薄膜》一文中研究指出在大气下,采用大气压介质阻挡放电(DBD)等离子体枪在低温下(<350℃),以甲烷为单体,氩气为工作气体,在Ti6Al4V钛合金表面制备一层类金刚石薄膜(DLC),以期改善钛合金表面摩擦学性能。利用激光拉曼(Raman)光谱和X射线光电子能谱(XPS)分析了所制备DLC薄膜的结构;利用扫描电子显微镜(SEM)观察DLC薄膜的表面形貌;利用划痕仪测量了DLC薄膜与基体的结合力;利用球-盘摩擦磨损实验仪对DLC薄膜的耐磨性能进行了研究。结果表明:在本实验工艺条件下沉积的类金刚石薄膜厚度约为1.0μm,薄膜均匀且致密,表面粗糙度Ra为13.23nm。类金刚石薄膜与基体结合力的临界载荷达到31.0N。DLC薄膜具有优良的减摩性,Ti6Al4V表面沉积DLC薄膜后摩擦系数为0.15,较Ti6Al4V基体的摩擦系数0.50明显减小,耐磨性能得到提高。(本文来源于《稀有金属材料与工程》期刊2012年01期）
林江,张溪文,韩高荣[2]（2011）在《单体流量对大气压等离子体枪沉积二氧化硅薄膜的影响》一文中研究指出大气压非平衡等离子体枪是近年来发展的一种新型的薄膜沉积方法,由于其相较于传统的气相镀膜方法,具有常压、低温、沉积速率快、设备简单等优点,一直以来受到了人们的广泛关注。利用这种类型沉积设备,以四乙氧基硅烷(TEOS)为先驱体,研究常压下沉积的二氧化硅薄膜的性质和规律。实验中,以氮气和少量氧气组成的混合气体作为等离子体的发生气体,以氮气作为单体的载气,并调节载气流量在60~160mL/min之间。通过光学椭偏仪、红外光谱(FT-IR)、扫描电镜(SEM)对所沉积的薄膜进行表征。结果表明,在硅衬底表面沉积的薄膜为包含OH基团的二氧化硅薄膜,且在薄膜的表面嵌有球状颗粒。随着TEOS流量的增加,薄膜中OH基团含量、表面颗粒含量和尺寸都显着增长。分析认为,TEOS流量增加引起的薄膜组分和表面形貌的变化,是由沉积速率变大引起的。(本文来源于《功能材料》期刊2011年S2期）
陈飞,陈家庆,张跃飞,吕反修[3]（2010）在《金属密封环表面大气压等离子体枪沉积类金刚石薄膜耐磨性能》一文中研究指出采用大气压介质阻挡放电等离子体枪,在低温下(<350℃),以甲烷为单体,氩气为工作气体,在金属密封环表面制备一层附着牢固的类金刚石薄膜(DLC),以期改善其表面耐磨性能。利用激光拉曼(Raman)光谱分析所制备DLC薄膜的结构;利用原子力显微镜(AFM)分析其表面形貌;利用划痕仪测量其与基体的结合力;用扫描电子显微镜(SEM)观察其划痕形貌;并利用球-盘摩擦磨损实验仪考察其耐磨性能。结果表明:在本实验工艺条件下沉积的类金刚石薄膜厚度约为500nm,薄膜均匀且致密,表面粗糙度为Ra5～6nm,其与基体结合力达到49N;制备的DLC薄膜具有优良的减摩性,其摩擦因数为0.148,较基体20CrNiMo的摩擦因数0.65明显减小,且耐磨性能得到提高。(本文来源于《润滑与密封》期刊2010年12期）
赵莹,严萍,王珏,邵涛,王晓明[4]（2010）在《新型筒状双层闪络板等离子体枪》一文中研究指出提出了新型筒状双层闪络板等离子体枪及其驱动电路的设计方案。枪内层接脉冲高压,均布160个电弧点,每个电弧点由中心焊盘及填充TiH2粉末的外围凹槽组成,TiH2粉末用硅酸钠粘接于凹槽中;通过100Ω电阻连接每个高压焊盘与接地端,电极间隙中产生等离子体。通过放电实验得出:当由3 kV,20μF电容器驱动时,脉宽为1.5μs、幅值约150 A的电流通过枪,产生的等离子体密度为1013~1014cm-3,存在时间0.5μs,等离子体定向速率达到5 cm/μs。实验证明:该闪络板等离子体枪可靠性强,可重复产生均匀等离子体。(本文来源于《强激光与粒子束》期刊2010年03期）
孙凤久,于撼江,张军[5]（2009）在《氮等离子体枪中电子输运行为的蒙特卡罗模拟》一文中研究指出采用蒙特卡罗模拟,对氮等离子体枪的两个环形电极间的氮气辉光放电过程中电子的输运过程进行研究.计算在不同平均电场与粒子数密度的比值(E/N)下,电子与氮分子发生不同碰撞的概率、出射电子的平均能量、方向角分布和电子的能量分布.结果表明,电子能量近似服从玻尔兹曼分布.随着E/N的升高,电子平均能量升高,发生激发、离化、电离和离化电离碰撞的概率增大;非均匀分布的电场使分子获得更高的离化率,同时显着增强出射电子的能量.模拟结果为等离子体应用设计提供了参考依据.(本文来源于《计算物理》期刊2009年01期）
边心超,陈强,张跃飞,汤文杰[6]（2008）在《CH_4含量对大气压等离子体枪制备纳米类金刚石薄膜结构与性能的影响》一文中研究指出以Ar气为辅助气体,CH_4为反应单体,在大气压条件下,利用介质阻挡放电(dielectric barrier discharge,DBD)等离子体枪成功地制备了纳米类金刚石(diamond-like carbon,DLC)薄膜。本文主要研究了甲烷含量变化对类金刚石薄膜结构与性能的影响。通过傅立叶变换傅立叶红外光谱和拉曼光谱研究了类金刚石薄膜结构随甲烷含量的变化;利用扫描电子显微镜和原子力显微镜观察了类金刚石薄膜的表面形貌;通过表面轮廓仪测量得到薄膜厚度;另外,本文还对不同CH_4含量制备的类金刚石薄膜摩擦学行为进行了研究,结果表明等离子体枪制备类金刚石薄膜的沉积速率可达20 nm/min,所制备的DLC薄膜表面连续、结构致密,摩擦系数较低,薄膜的抗磨损性能良好。(本文来源于《第七届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛论文集（一）》期刊2008-10-01）
于撼江,孙凤久,张军[7]（2007）在《用于大气环境中的氮等离子体枪束流模拟》一文中研究指出为了对等离子体应用设计提供依据,在局部热力学平衡条件下,应用差分网格法,通过解RNGk-ε方程模拟了用于大气环境中的氮等离子体枪的束流,得到了与实验测得的基本一致的等离子体束型.计算了不同气体流量条件下等离子体束流的温度场,并通过描绘等离子体束流中温度为600 K的边界得到了等离子体束型.结果表明:当流量F<0.8 m3/h时,随着流量的减少,束型变小;当F>0.8 m3/h时,等离子体束型分布趋于稳定,此时能够为等离子体的应用提供较好的离子源.等离子束径在7~8 mm处达到最大,此处应为等离子体应用的最佳范围.(本文来源于《东北大学学报(自然科学版)》期刊2007年12期）
汤文杰,张跃飞,陈强,葛袁静[8]（2006）在《大气等离子体枪制备类金刚石薄膜》一文中研究指出大气下,采用DBD等离子体枪为等离子体聚合装置,以甲烷为单体,氩气为工作气体,在载玻片和单晶硅片上沉积类金刚石薄膜(DLC)。考察了基片预处理、内电极形状、进气方式、以及等离子体炬喷口和基材的距离对DLC薄膜沉积的影响。通过傅立叶变换红外光谱(FTIR)分析聚合膜结构并探索可能的沉积机理;表面轮廓仪测定了成膜速率;并对薄膜进行了机械性能测量。(本文来源于《包装工程》期刊2006年05期）
陈强,张跃飞,韩尔立,陈飞,葛袁静[9]（2006）在《SiOx抗腐蚀层的大气压DBD等离子体枪合成及性能研究》一文中研究指出本文进行了大气压下等离子体枪合成SiOx薄膜的实验研究。通过傅立叶变换红外光谱和扫描电子显微镜检测,探索了SiOx薄膜结构随等离子体放电参数之间的关系。实验结果显示,等离子体枪能在基材表面沉积的具有质地均匀和交联结构SiOx薄膜。在0．1M NaCl溶液中进行动态电位极化测定,对沉积有SiOx层的碳钢样品进行了抗腐蚀性能研究,结果表明沉积有SiOx层的碳钢样品在 5％的NaCl溶液中腐蚀速率最大可降低15倍,具有良好的抗腐蚀性能。(本文来源于《第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文集》期刊2006-08-01）
陈强,张跃飞,韩尔立,陈飞,葛袁静[10]（2006）在《SiOx抗腐蚀层的大气压DBD等离子体枪合成及性能研究》一文中研究指出本文进行了大气压下等离子体枪合成SiOx薄膜的实验研究。通过傅立叶变换红外光谱和扫描电子显微镜检测,探索了SiOx薄膜结构随等离子体放电参数之间的关系。实验结果显示,等离子体枪能在基材表面沉积的具有质地均匀和交联结构SiOx薄膜。在0.1MNaCl溶液中进行动态电位极化测定,对沉积有SiOx层的碳钢样品进行了抗腐蚀性能研究,结果表明沉积有SiOx层的碳钢样品在5%的NaCl溶液中腐蚀速率最大可降低15倍,具有良好的抗腐蚀性能。(本文来源于《第六届全国表面工程学术会议论文集》期刊2006-08-01）
等离子体枪论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
大气压非平衡等离子体枪是近年来发展的一种新型的薄膜沉积方法,由于其相较于传统的气相镀膜方法,具有常压、低温、沉积速率快、设备简单等优点,一直以来受到了人们的广泛关注。利用这种类型沉积设备,以四乙氧基硅烷(TEOS)为先驱体,研究常压下沉积的二氧化硅薄膜的性质和规律。实验中,以氮气和少量氧气组成的混合气体作为等离子体的发生气体,以氮气作为单体的载气,并调节载气流量在60~160mL/min之间。通过光学椭偏仪、红外光谱(FT-IR)、扫描电镜(SEM)对所沉积的薄膜进行表征。结果表明,在硅衬底表面沉积的薄膜为包含OH基团的二氧化硅薄膜,且在薄膜的表面嵌有球状颗粒。随着TEOS流量的增加,薄膜中OH基团含量、表面颗粒含量和尺寸都显着增长。分析认为,TEOS流量增加引起的薄膜组分和表面形貌的变化,是由沉积速率变大引起的。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
等离子体枪论文参考文献
[1].陈飞,周海,张跃飞,吕反修.钛合金表面大气压等离子体枪制备类金刚石薄膜[J].稀有金属材料与工程.2012
[2].林江,张溪文,韩高荣.单体流量对大气压等离子体枪沉积二氧化硅薄膜的影响[J].功能材料.2011
[3].陈飞,陈家庆,张跃飞,吕反修.金属密封环表面大气压等离子体枪沉积类金刚石薄膜耐磨性能[J].润滑与密封.2010
[4].赵莹,严萍,王珏,邵涛,王晓明.新型筒状双层闪络板等离子体枪[J].强激光与粒子束.2010
[5].孙凤久,于撼江,张军.氮等离子体枪中电子输运行为的蒙特卡罗模拟[J].计算物理.2009
[6].边心超,陈强,张跃飞,汤文杰.CH_4含量对大气压等离子体枪制备纳米类金刚石薄膜结构与性能的影响[C].第七届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛论文集（一）.2008
[7].于撼江,孙凤久,张军.用于大气环境中的氮等离子体枪束流模拟[J].东北大学学报(自然科学版).2007
[8].汤文杰,张跃飞,陈强,葛袁静.大气等离子体枪制备类金刚石薄膜[J].包装工程.2006
[9].陈强,张跃飞,韩尔立,陈飞,葛袁静.SiOx抗腐蚀层的大气压DBD等离子体枪合成及性能研究[C].第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文集.2006
[10].陈强,张跃飞,韩尔立,陈飞,葛袁静.SiOx抗腐蚀层的大气压DBD等离子体枪合成及性能研究[C].第六届全国表面工程学术会议论文集.2006