高频等离子体论文_伍远博,陶智,黄敏,顾中浩,徐超

导读:本文包含了高频等离子体论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译,主要关键词:等离子体,谐振,电子,碳源,密度,感应,温度。

高频等离子体论文文献综述

伍远博,陶智,黄敏,顾中浩,徐超[1](2019)在《高频高压低温等离子体发生研究》一文中研究指出针对传统气体放电式等离子体发生器电源效率不高、使用寿命有限等问题,提出了一种零电压软开关高频高压低温等离子体发生方法,并设计了一个高效率低损耗的高频高压低温等离子体发生系统。该系统通过移相全桥软开关控制电路提供控制信号,光耦隔离电路降低强电干扰,在零电压软开关驱动下,经高频谐振升压电路对输入信号升压,实现低温等离子体的稳定发生。实验结果表明,系统工作频率稳定在262kHz,系统能够稳定发生低温等离子体,等离子体束长可达13.1cm,系统工作稳定后,零电压软开关系统的效率为87.4%,与传统直流等离子体发生炬最高77%效率相比,提高了10.4%,实现了驱动管耗的降低和输入电源效率的提升。(本文来源于《真空科学与技术学报》期刊2019年09期)

刘宏瑞,赵彦伟,白柳杨,李军平[2](2019)在《高频热等离子体法合成纳米ZrC粉体及其表征》一文中研究指出以炭黑和甲烷分别作为碳源,四氯化锆作为锆源,采用高频热等离子体法合成了超细ZrC粉体。分别采用XRD、高频红外燃烧、SEM、化学重量法对实验产物进行了表征,分析了超细ZrC粉体的物相、纯度、粒径与碳源及进气量之间的影响规律。研究表明:采用不同碳源所合成的ZrC粉体粒径均在100 nm以下,相比较炭黑为碳源,甲烷作为碳源合成的产品纯度高,氧含量低,产率大,因此,甲烷作为碳源更适于批量制备超细ZrC粉体。(本文来源于《宇航材料工艺》期刊2019年04期)

马利斌[3](2019)在《感应耦合等离子体风洞高频放电数值模拟研究》一文中研究指出为了研究再入飞行器热防护材料、开展飞行器气动性能测试实验,近年来,世界各国纷纷建立了不同类型、不同级别的等离子体风洞实验设备,如电弧加热风洞、激波风洞、感应耦合等离子体风洞(也称为高频感应等离子体风洞或射频等离子体风洞)。由于感应耦合等离子体具有无电极污染,温度均匀,弧区大,能提供纯净热源,工质不受限制等特点,它在航空航天、冶金、化工等工业领域中有着巨大的应用前景。基于感应耦合等离子体源有着非常重要的应用前景,非常有必要对感应耦合等离子体放电特性进行详细的研究。本文主要研究10千瓦氩气感应耦合等离子体风洞在典型工况气压p=4000 Pa条件下不同放电状态对感应耦合等离子体放电特性的影响,同时分析了不同工作参数(放电频率、工作压力、线圈功率和质量流率)下非平衡感应耦合等离子体的放电特性,为感应耦合等离子体风洞优化设计及其工业应用提供理论指导和基础理论数据。本文针对柱状感应耦合等离子体的放电过程建立了二维轴对称几何模型,在数值模型过程中,我们使用流体力学模型分别建立了平衡态和非平衡态感应耦合等离子体数值模型,获得不同放电状态下的数值模拟结果,然后将数值模拟结果与实验结果进行对比分析,可以看出,使用非平衡模型得到的感应耦合等离子体的流场结果与实验结果更加一致,从理论上讲也更加合理。接下来我们分析了不同工作参数对非平衡态感应耦合等离子体放电的影响。计算结果表明:等离子体炬内最大电子数密度随着工作压力和线圈功率的增大而增大,随着放电频率和入口质量流率的增大而减小;最大电子温度随着线圈功率的增大而增大,随着放电频率、工作压力和入口质量流率的增大而减小;等离子体炬内最大气体速度随着线圈功率和入口质量流率的增大而增大,随着放电频率和工作压力的增大而减小;同时可以发现,等离子体炬内最大平均温度随着工作压力和线圈功率的增大而增大,随着放电频率和入口质量流率的增大而减小。(本文来源于《西安理工大学》期刊2019-06-30)

伍远博,陶智,黄敏,顾中浩,徐超[4](2019)在《一种高频高压等离子体发生器》一文中研究指出针对传统直流等离子体发生器电源效率不高、驱动管热损耗大等问题,设计了一个高效率低损耗的高频高压等离子体发生器。该系统通过移相全桥控制电路进行PWM方波控制,在功率晶体管驱动下,经高频谐振升压电路对输入信号升压,实现等离子体的稳定发生。实验结果表明,该系统与传统直流等离子体发生器相比电源效率提升了5.4%。(本文来源于《科技创新与应用》期刊2019年12期)

盛怡俊,王赛斌,涂军伟,周韧志[5](2019)在《经电子支气管镜氩等离子体凝固联合高频电刀治疗气道狭窄的临床疗效分析》一文中研究指出目的探讨经电子支气管镜氩等离子体凝固(argon plasma coagulation,APC)联合高频电刀治疗气道狭窄的临床价值。方法研究对象选择2015年6月~2017年6月我院收治的气管、支气管恶性狭窄患者64例,采用随机数字表法将所有患者分为对照组和观察组,每组各32例。对照组患者给予高频电刀治疗,观察组患者给予APC+高频电刀治疗。比较两组临床疗效,同时比较两组治疗前后气促指数、肺功能FEV1、气道直径、气道横截面积及生活质量评分。结果对照组和观察组总有效率分别为71.88%和93.75%,观察组的总有效率显着高于对照组,差异具有统计学意义(P<0.05)。治疗前两组气促指数、肺功能FEV1差异无统计学意义(P>0.05),治疗后两组气促指数均较治疗前有所下降,肺功能FEV1较治疗前有所上升,且观察组气促指数显着低于对照组,差异具有统计学意义(P<0.05),肺功能FEV1显着高于对照组,差异具有统计学意义(P<0.05)。治疗前两组气道直径、气道横截面积差异无统计学意义(P>0.05),治疗后两组气道直径、气道横截面积均较治疗前有所上升,且观察组气道直径、气道横截面积显着高于对照组,差异具有统计学意义(P<0.05)。治疗前两组生活质量评分差异无统计学意义(P>0.05),治疗后两组生活质量评分均较治疗前有所上升,且观察组生活质量评分显着高于对照组,差异具有统计学意义(P<0.05)。结论经电子支气管镜氩等离子体凝固联合高频电刀治疗气道狭窄效果良好,可有效缓解患者气促及呼吸困难等临床症状,提高肺功能,提高生活质量。(本文来源于《中国现代医生》期刊2019年09期)

陈文波,陈伦江,刘川东,程昌明,童洪辉[6](2018)在《高频电感耦合等离子体炬内速度及温度空间分布的数值计算》一文中研究指出研究高频电感耦合等离子体炬内部空间的速度和温度分布对等离子体炬的稳定运行有着十分重要的指导意义。为此首先建立了100 kW高频电感耦合热等离子体炬的二维轴对称模型,然后利用商业软件ANSYS FLUENT对纯氩热等离子体电磁场、速度及温度的空间分布进行了计算,并在此基础上分别研究了粉末携带气、反应气及冷却气体积流量的变化对等离子体炬内速度和温度空间分布产生的影响,研究结果表明:等离子体炬内速度和温度空间分布受粉末携带气体积流量变化的影响较大,而反应气体积流量的变化仅对等离子体温度有一定的影响,过高的反应气体积流量可能导致灭弧现象的产生;等离子体炬外管附近区域的温度会随冷却气体积流量的增加而快速下降,因此在实际工作过程中可通过加大冷却气的流量来达到保护炬外管的目的。(本文来源于《高电压技术》期刊2018年09期)

陈文波,陈伦江,刘川东,程昌明,童洪辉[7](2018)在《高频感应热等离子体中粉末颗粒的运动行为研究》一文中研究指出建立了高频电感耦合等离子体炬的二维轴对称模型,利用商用软件FLUENT对钛粉颗粒在纯氩热等离子体内的运动轨迹进行了模拟,研究了前驱体粒径及载气流量的变化对粉末颗粒受力过程的影响。研究结果表明,粒径小的颗粒受炬内回流作用的影响较大,颗粒运动轨迹杂乱,而粒径大的颗粒受回流的影响则很小;降低载气流量可以使钛粉的受热更加充分,使得更多的颗粒被加热至熔化,可提高粉末的球化率。(本文来源于《核聚变与等离子体物理》期刊2018年02期)

吕文丽[8](2018)在《填充等离子体的绕射辐射振荡器高频特性研究》一文中研究指出等离子体填充能够明显提高真空电子器件的效率和功率,研究等离子体填充器件具有重要的科学价值。本文讨论了填充等离体子的绕射辐射振荡器的高频特性,采用理论分析和PIC模拟相结合的方法对器件的高频特性进行研究。重点研究了等离体子密度、漂移段、反射器叁个因素对输出功率的影响。通过理论与模拟相结合,发现合理选择等离子体密度、反射器、漂移段能够大幅提高器件输出功率和效率,在背景等离子体密度变化过程中,存在一峰值功率点,反射器与漂移段的共同作用可提高这一峰值功率点。(本文来源于《电子元器件与信息技术》期刊2018年04期)

杨郁[9](2018)在《甚高频激发的容性耦合Ar/O_2等离子体的激光诱导诊断研究》一文中研究指出容性耦合电负性等离子体在表面处理领域中应用广泛,例如,在微电子行业中通过等离子体刻蚀来得到特定的表面形貌,在聚合物表面生成一些功能性基团等。负离子的形成对反应性等离子体的动力学与动态演变影响很大,尤其是对带电粒子平衡和电子能量分布函数(EEDF)影响显着。因此,我们有必要对容性耦合电负性等离子体中的电负特性进行深入的研究。本实验主要利用探针辅助的脉冲激光诱导负离子剥离诊断技术对掺入5%O2的容性耦合Ar等离子体电负特性进行了诊断分析。首先,我们详细解析了脉冲激光剥离后的探针的电信号,分析了探针偏压在低于或高于空间电位下的探针收集信号特征;根据探针偏压与探针收集信号之间的关系,用来描述Ar+5%O2等离子体电负特性的等离子体电负度被定义为脉冲激光剥离出的电子电流与偏压高于空间电位的探针收集到背景电子电流的饱和比值,并为此对等离子体电负度随放电气压、射频功率以及轴向位置的变化进行了诊断测量。实验结果表明等离子体的电负度随着射频功率增加而减小、随着放电气压上升而变大。由于非对称电极分布特性,等离子体电负度随轴向位置并不呈中心对称分布。另外,由于电子与分子碰撞的负离子产生与负离子与分子碰撞的负离子消失是一对竞争反应过程,因而导致了电负度在鞘层边界附近呈现较高的趋势而在等离子体放电中心表现出较低的趋势。其次,为进一步地了解Ar+5%O2电负性等离子体,我们对Langmuir探针的I-V特性曲线进行分析,并通过电子能量几率函数(EEPF)推算出了等离子体电子密度,最后结合电负度计算出了负离子密度。结果表明,电子密度和负离子密度的轴向分布均呈非中心对称,在接近电极处的电子密度较大,在腔室中心的电子密度较小,而负离子密度只有接近功率电极处的负离子密度较高,且两者在功率电极附近的分布受气压影响显着。(本文来源于《苏州大学》期刊2018-04-01)

刘文广,李勇,何正兵,陈斌,喻廷凤[10](2018)在《经电子支气管镜氩等离子体凝固联合高频电及冷冻治疗气道狭窄31例临床观察》一文中研究指出目的观察经电子支气管镜氩等离子体凝固联合高频电及冷冻治疗良恶性气道狭窄的临床疗效及并发症。方法选择2015年3月~2017年3月在我科住院的气管、支气管良恶性狭窄患者31例,其中良性气道狭窄4例,恶性气道狭窄27例,均采用经电子支气管镜氩等离子体凝固联合高频电及冷冻治疗,术后进行气道狭窄再通评估及气促分级,与术前进行比较。结果 4例良性气道狭窄患者完全治愈,良性气道狭窄治疗有效率为100%。27例恶性气道狭窄患者中:完全有效7例(25.9%),部分有效17例(63%),轻度有效2例(7.4%),无效1例(3.7%),恶性气道狭窄治疗有效率为96.3%。31例良恶性气道狭窄治疗后总有效率为96.8%,治疗后30例患者气促分级得到改善。结论经电子支气管镜氩等离子体凝固联合高频电及冷冻治疗良恶性气道狭窄,可有效清除病变,恢复气道通畅,从而缓解患者的临床症状,改善患者的生活质量。另外还有创伤较小、并发症轻、适应证广的优点,对不能外科手术治疗或者不愿意接受外科手术治疗的气道狭窄患者提供了一种新的相对安全、有效的选择。(本文来源于《中国现代医生》期刊2018年05期)

高频等离子体论文开题报告

(1)论文研究背景及目的

此处内容要求:

首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景,再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题,并提出你的论文准备的观点或解决方法。

写法范例:

以炭黑和甲烷分别作为碳源,四氯化锆作为锆源,采用高频热等离子体法合成了超细ZrC粉体。分别采用XRD、高频红外燃烧、SEM、化学重量法对实验产物进行了表征,分析了超细ZrC粉体的物相、纯度、粒径与碳源及进气量之间的影响规律。研究表明:采用不同碳源所合成的ZrC粉体粒径均在100 nm以下,相比较炭黑为碳源,甲烷作为碳源合成的产品纯度高,氧含量低,产率大,因此,甲烷作为碳源更适于批量制备超细ZrC粉体。

(2)本文研究方法

调查法:该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。

观察法:用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。

实验法:通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。

文献研究法:通过调查文献来获得资料,从而全面的、正确的了解掌握研究方法。

实证研究法:依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。

定性分析法:对研究对象进行“质”的方面的研究,这个方法需要计算的数据较少。

定量分析法:通过具体的数字,使人们对研究对象的认识进一步精确化。

跨学科研究法:运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。

功能分析法:这是社会科学用来分析社会现象的一种方法,从某一功能出发研究多个方面的影响。

模拟法:通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。

高频等离子体论文参考文献

[1].伍远博,陶智,黄敏,顾中浩,徐超.高频高压低温等离子体发生研究[J].真空科学与技术学报.2019

[2].刘宏瑞,赵彦伟,白柳杨,李军平.高频热等离子体法合成纳米ZrC粉体及其表征[J].宇航材料工艺.2019

[3].马利斌.感应耦合等离子体风洞高频放电数值模拟研究[D].西安理工大学.2019

[4].伍远博,陶智,黄敏,顾中浩,徐超.一种高频高压等离子体发生器[J].科技创新与应用.2019

[5].盛怡俊,王赛斌,涂军伟,周韧志.经电子支气管镜氩等离子体凝固联合高频电刀治疗气道狭窄的临床疗效分析[J].中国现代医生.2019

[6].陈文波,陈伦江,刘川东,程昌明,童洪辉.高频电感耦合等离子体炬内速度及温度空间分布的数值计算[J].高电压技术.2018

[7].陈文波,陈伦江,刘川东,程昌明,童洪辉.高频感应热等离子体中粉末颗粒的运动行为研究[J].核聚变与等离子体物理.2018

[8].吕文丽.填充等离子体的绕射辐射振荡器高频特性研究[J].电子元器件与信息技术.2018

[9].杨郁.甚高频激发的容性耦合Ar/O_2等离子体的激光诱导诊断研究[D].苏州大学.2018

[10].刘文广,李勇,何正兵,陈斌,喻廷凤.经电子支气管镜氩等离子体凝固联合高频电及冷冻治疗气道狭窄31例临床观察[J].中国现代医生.2018

论文知识图

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