导读:本文包含了热汽相沉积法论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:热汽相沉积法,ZnO,Ag,ZnO复合结构,光催化性能
热汽相沉积法论文文献综述
李颖[1]（2007）在《金属氧化物薄膜的热汽相沉积法制备研究》一文中研究指出氧化锌(ZnO)是一种具有六方纤锌矿晶体结构的多功能金属氧化物材料,在光电、压电、热电、铁电、铁磁等方面都具有优异的性能。60meV高激子结合能的半导体特性使ZnO在紫外光探测器、蓝紫波段发光二极管(LEDs)和短波长激光二极管(LDs)以及光信息存储领域有着广阔的应用前景。3.37eV宽禁带的特点也使ZnO成为半导体光催化剂的高效催化材料。本文主要通过一种低成本、操作简单、化学组分易控制的合成方法—热汽相沉积法,在非真空条件下制备纳微结构ZnO,并对其生长机理、结构形貌及光催化性能进行较为系统的研究。以金属锌粉为蒸发源物质,在氩气气氛中加热,在无外加催化剂的条件下成功的在Si衬底上制备了大量形貌均一的四足状ZnO(T-ZnO)。测试结果说明四足状产物有较高的结晶质量,这和从中心核伸展生长的“无衬底”生长形式有关,因此产物很容易在基体材料中实现均匀的叁维分布,有可能成为较为理想的复合材料的补强增韧剂。系统比较载气类型及流量、沉积时间和衬底温度对产物形貌的影响,发现在生长过程中热汽相沉积过程对于O2的浓度十分敏感,O2不仅影响ZnO颗粒大小,而且使ZnO的极性生长面发生变化,对产物形貌有决定性作用。此外,通过反应过程的热力学分析,得出在高温时调节氧分压是控制反应趋势的有效手段。沉积时间的增加和衬底温度的升高使衬底上逐渐出现二维纳米片,通过理论分析认为是二维形核率提高所导致。利用VS机理和晶体的形核生长理论,探讨了存在于T-ZnO及棒状ZnO (R-ZnO)中“塔状”形貌的生长机理,认为其形成过程主要决定于ZnO各晶面表面自由能的差异和极性晶体ZnO沿C轴方向生长的固有生长习性,并相应提出了“阶段性外延形核”的生长模式。采用自制光催化性能实验装置对制备的T-ZnO光催化性能进行测试,产物在紫外灯下具有降解甲基橙有机溶液的光催化性能。在对原装置引入水浴冷却槽、并减少测试溶液量之后,测试条件进一步得到优化,解决了先前测试结果中降解率突降及效果不明显的问题,产物催化效率显着。实验结果表明水浴温度是测试ZnO催化降解率过程中的重要因素之一,其原因主要是有效降低了由紫外灯照射产生的热辐射对催化性能的影响。首次采用热汽相沉积和射频磁控溅射相结合的“两步法”成功制备了银/棒状ZnO(Ag/R-ZnO)复合催化剂,针对其光催化性能与单相R-ZnO进行了比较。溅射时间较短的Ag/R-ZnO复合产物其催化效率高于R-ZnO,但溅射时间较长的却低于R-ZnO,分析认为,这是由于溅射时间影响R-ZnO表面Ag负载量所导致的结果。Ag作为光生电子(e-)的接收器,可促进复合系统界面的载流子输运,有效的减少电子空穴对的复合率,从而提高光催化剂反应活性。但在负载量较高时,负载在R-ZnO表面的Ag可能形成一层连续膜,阻碍R-ZnO光照程度,因此无法产生电子-空穴对,造成复合产物光催化性能降低的结果。进一步利用上述方法成功制备了分散性较好的银/四足状ZnO(Ag/T-ZnO)复合催化剂,探讨了溅射功率对产物光催化性能的影响,再一次验证了Ag在T-ZnO表面的沉积量是影响产物光催化性能的关键因素。(本文来源于《北京工业大学》期刊2007-04-10）
沈应中,Marion,Leschke,Stefan,E,Schulz,Ramona,Ecke[2]（2004）在《叁正丁基膦稳定的铜(Ⅰ)β-二酮配合物的合成、表征以及作为前驱物用化学汽相沉积法生长铜膜(英文)》一文中研究指出合成了一系列叁正丁基膦辅助配体稳定的铜仿β鄄二酮配合物,对合成的配合物用元素分析、红外、核磁共振以及热重和差热等手段进行了表征。筛选出性能优良的配合物为前驱物用化学汽相沉积(CVD)的方法生长出金属铜膜,用SEM和EDX等手段对生长的铜膜进行了表征。(本文来源于《无机化学学报》期刊2004年11期）
[3]（2000）在《用金属有机化学汽相沉积法生长立方相氮化镓发光二极管》一文中研究指出尽管在砷化镓衬底上能否生长出令人满意的亚稳态立方相氮化镓仍受到工业界的怀疑,但国家光电技术研究中心和北京半导体所的研究人员已经使用这种方法制出蓝光输出发光二极管(LEDs).绝大多数现存的蓝光LEDs是基于最稳相的六方相GaN.尽管在自然界中不存在亚稳态立方相GaN,但可预言存在具有更高的载流子迁移率,更容易的P型掺杂和更窄能带隙的GaN.研究小组用金属有机化学汽相外延法在掺硅GaAs衬底上生长出了立方相GaN层状结构.一种对发光质量有益的亚微尺寸颗粒是从插入位错和层积缺陷中释放出来的.研究人员说这种结(本文来源于《光机电信息》期刊2000年01期）
冯金垣,越泽庭,黎达宇,杨日福[4]（1998）在《汽相沉积法SnO_2薄膜光谱透过率气敏特性的研究》一文中研究指出本文研究了用汽相沉积法制备ＳｎＯ２气敏薄膜和ＳｎＯ２膜的光谱透过率气敏特性。用汽相沉积制备ＳｎＯ２的方法是利用一个密封的石英管系统，把ＳｎＣｌ４溶液置于系统内，氧气通人系统，然后系统升温使ＳｎＣｌ４气化，通过控制氧气流量、沉积温度和沉积时间等，使气化后的Ｓｎ原子与氧原子在一定条件下生成ＳｎＯ２，沉积在玻璃衬底上。本文用ＡＳ－４３０Ｓ俄歇式电子能谱仪测试膜片的主要成分，并用光栅单色仪测试了膜片在乙醇还原性气体中的气敏特性。实验结果表明：与热喷法制备的ＳｎＯ２膜比较，沉积法具有工艺重复性好，可以控制沉积膜的厚度，灵敏度高等优点。因此，可制备出有选择性的“气敏－光透过率”型气敏传感器。(本文来源于《光学技术》期刊1998年04期）
辛煜,范叔平,狄国庆,沈明荣,甘肇强[5]（1998）在《微波等离子体化学汽相沉积法沉积CN_x膜的研究》一文中研究指出对用微波等离子体化学汽相沉积法沉积在Ｓｉ基片上的ＣＮｘ膜分别进行Ｒａｍａｎ散射、Ｘ射线光电子能谱、Ｘ射线衍射和扫描电子显微镜等技术的分析与测试．Ｒａｍａｎ散射的研究结果表明在ＣＨ４与Ｎ２的流量比低于１∶８时，ＣＮｘ膜的散射谱中以非晶石墨峰的形式出现．当流量比为１∶８时，则表现为较尖锐的Ｃ≡Ｎ键（２１９０ｃｍ－１）的特征峰；从Ｘ射线光电子能谱的分析结果可以看出Ｃ，Ｎ成键的方式主要是Ｃ≡Ｎ键和Ｃ—Ｎ键，但Ｘ射线衍射谱中并没有对应于βＣ３Ｎ４相的衍射峰出现；气压对膜的沉积速率有影响．(本文来源于《物理学报》期刊1998年01期）
丰金丽[6]（1997）在《浮法线应用化学汽相沉积法生产镀膜玻璃》一文中研究指出1 概述 自七十年代以来,镀膜技术在全世界范围内得到突飞猛进的发展,无论是在工艺、设备还是在材料方面都以全新的面貌展现在人们面前。我国从六十年代开始出现镀膜生产企业,七十年代中期开始兴起以铝代银的制镜行业,现已经发展到一定的规模。我国的薄膜科学和技术已从实验室、科研院所走向工厂企业和应用部门,从镀膜材料的开发、工艺(本文来源于《中国搪瓷》期刊1997年05期）
敬松[7]（1993）在《新型压电热电功能材料——汽相沉积法聚脲薄膜》一文中研究指出1.前言1969年,日本小林理研公司的河合平司博士第一次发现了聚偏氟乙烯(PVDF)的压电性(物质当发生形变或受到应力时就会产生电极化,相反,当受到电场作用时就会产生形变和应力的一种性质)。自那以后,关于合成高分子压电性、热电性(物质随温度变化而极化程度也发生变化的一种性质)的研究很快就在世界上盛行起来。表1列出了有关压电性、热电性高分子研究的主要进展情况。(本文来源于《化工新型材料》期刊1993年03期）
王万录,高锦英,廖克俊,刘爱民[8]（1992）在《直流等离子体化学汽相沉积法合成的金刚石膜的内应力研究》一文中研究指出研究了直流等离子体化学汽相沉积(CVD)法合成的金刚石膜内应力随甲烷浓度、沉积温度的变化关系。实验研究表明,金刚石膜的总内应力随沉积条件变化十分敏感。压缩应力是由非金刚石成份及氢等杂质引起的,而伸张应力可由膜中高密度的微空和内面积导致的晶粒间界弛豫模型来解释。(本文来源于《物理学报》期刊1992年11期）
王幼文,许宇庆,丁予上,姚鸿年[9]（1992）在《化学汽相沉积法生长微晶过程中的旋涡现象》一文中研究指出本文报道了用高分辨电子显微术(HREM)观察辉光放电汽相淀积制备的Si:H薄膜,和热化学气相合成法制备的超细SiC粉末时发现的原子密排面呈旋涡状排列的旋涡现象,描述了这种旋涡现象的结构特点,分析了旋涡结构的形成原因,及其能保留下来的条件,讨论了这种旋涡现象与微晶形核生长过程的联系。(本文来源于《物理学报》期刊1992年10期）
彭希林,廖传美,陈小林,戚小微[10]（1992）在《用热灯丝辅助化学汽相沉积法在钼基板上沉积金刚石薄膜的研究》一文中研究指出用热灯丝铺助化学汽相沉积(HFACVD)法,以H_2十CH_4为原料在钼基板上沉积出了金刚石膜。用扫描电镜,X射线衍射,激光Raman光谱和光荧光谱对所得金刚石膜进行了分析。实验结果表明,钼基板表面先生成了1层Mo_2C,然后,金刚石再在此Mo_2C上形核生长。所沉积的金刚石膜中仍含有一定的SP~2态碳和中性空缺等缺陷。(本文来源于《北京矿冶研究总院学报》期刊1992年01期）
热汽相沉积法论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
合成了一系列叁正丁基膦辅助配体稳定的铜仿β鄄二酮配合物,对合成的配合物用元素分析、红外、核磁共振以及热重和差热等手段进行了表征。筛选出性能优良的配合物为前驱物用化学汽相沉积(CVD)的方法生长出金属铜膜,用SEM和EDX等手段对生长的铜膜进行了表征。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
热汽相沉积法论文参考文献
[1].李颖.金属氧化物薄膜的热汽相沉积法制备研究[D].北京工业大学.2007
[2].沈应中,Marion,Leschke,Stefan,E,Schulz,Ramona,Ecke.叁正丁基膦稳定的铜(Ⅰ)β-二酮配合物的合成、表征以及作为前驱物用化学汽相沉积法生长铜膜(英文)[J].无机化学学报.2004
[3]..用金属有机化学汽相沉积法生长立方相氮化镓发光二极管[J].光机电信息.2000
[4].冯金垣,越泽庭,黎达宇,杨日福.汽相沉积法SnO_2薄膜光谱透过率气敏特性的研究[J].光学技术.1998
[5].辛煜,范叔平,狄国庆,沈明荣,甘肇强.微波等离子体化学汽相沉积法沉积CN_x膜的研究[J].物理学报.1998
[6].丰金丽.浮法线应用化学汽相沉积法生产镀膜玻璃[J].中国搪瓷.1997
[7].敬松.新型压电热电功能材料——汽相沉积法聚脲薄膜[J].化工新型材料.1993
[8].王万录,高锦英,廖克俊,刘爱民.直流等离子体化学汽相沉积法合成的金刚石膜的内应力研究[J].物理学报.1992
[9].王幼文,许宇庆,丁予上,姚鸿年.化学汽相沉积法生长微晶过程中的旋涡现象[J].物理学报.1992
[10].彭希林,廖传美,陈小林,戚小微.用热灯丝辅助化学汽相沉积法在钼基板上沉积金刚石薄膜的研究[J].北京矿冶研究总院学报.1992