高温化学腐蚀加工多孔碳化硅陶瓷的表征及机理

论文摘要

探讨高温化学腐蚀加工SiC陶瓷工艺参数对加工质量的影响,分析SiC陶瓷的腐蚀机理。分别用失重法和Archimedes法测量试样的腐蚀速率和气孔率;用XRD、SEM、粗糙度测试仪对试样表面的形貌和结构进行表征。结果表明:随着温度和KOH浓度升高,腐蚀速率加快,温度高于碱溶液沸点时,腐蚀效果显著提高;碱溶液浓度过高会造成气孔率下降,升高温度可减缓气孔率下降;在优化的工艺参数下,高温化学腐蚀能够降低样品粗糙度,最低约为1.6μm;表面质量得到改善,轮廓支承长度率Rmr提高,Rmr(50%)达到89.70%;腐蚀温度过高或时间过长将造成晶粒脱落,导致表面质量大幅下降;此外,与机械加工试样相比,高温化学加工后的样品未出现裂纹,表面经简单清洗无反应物残留。

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类型: 期刊论文

作者: 刘善勇,王玉玲,孙树峰,邵晶,刘庆玉,王津

关键词: 高温化学腐蚀,工艺参数,腐蚀机理,粗糙度,表面形貌

来源: 航空材料学报 2019年02期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑

专业: 无机化工

单位: 青岛理工大学机械工程学院

基金: 国家自然科学基金(51775289),山东省重点研发计划(重大关键技术)项目(2016ZDJS02A15),山东省研究生教育质量提升计划项目(SDYAL17044)

分类号: TQ174.758.12

页码: 16-24

总页数: 9

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