导读:本文包含了靶电压论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:Al2O3薄膜,中频反应磁控溅射,靶电压迟滞回线,靶电压控制点
靶电压论文文献综述
王庆富,方立平,刘清和,陈林,王勤国[1]（2017）在《中频反应磁控溅射Al2O3薄膜的靶电压迟滞回线与控制点研究》一文中研究指出采用中频磁控溅射离子镀技术制备了Al_2O_3薄膜,采用反应溅射控制器测定了不同氩分压与靶功率下的靶电压迟滞回线,采用X-射线衍射仪、扫描电镜、EDS能谱、俄歇电子能谱仪对不同电压控制点下制备的Al_2O_3薄膜的组织结构与化学组分进行了研究。结果表明,中频磁控溅射沉积Al_2O_3薄膜靶电压迟滞回线具有典型的反应溅射靶电压迟滞回线特性,在不同氩分压、靶功率下,靶电压的迟滞回线特性相似,都存在O_2流量升高达到某一临界值时,溅射模式由金属态向化合物态的转变,靶电压出现快速下降的现象;当O_2流量下降达到某一临界值时,溅射模式由化合物态向金属态转变,靶电压出现快速上升。靶电压控制点在25%～40%之间,均可以获得致密的主要以非晶态存在的Al_2O_3薄膜。(本文来源于《TFC’17全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集》期刊2017-08-19）
池华敬,郭帅,熊凯,王双,陈革[2]（2013）在《闭环控制靶电压直流磁控反应溅射沉积AlN薄膜》一文中研究指出在原磁控溅射叁靶镀膜机上安装了UPS03反应溅射闭环控制单元,替代原有的级差法控制流量计改变反应气体流量的方法,实现反应溅射AlN反馈控制。该控制单元由UPC03型控制器和PCV03型压电陶瓷阀组成。控制器实时采集直流电源的Al靶电压信号,与设定电压进行比较计算处理,输出电压控制信号至压电陶瓷阀,调节输出N2流量,实现Al靶电压稳定控制。在靶表面处于过渡态下,成功制备了吸收几乎为零的AlN薄膜。溅射功率14kW,反应溅射沉积AlN的靶电压波动可长时间稳定控制在±2V范围内,沉积速率高达4.5nm/(min·kW),约为Al靶在无反应气体溅射下沉积Al薄膜速率的80%。溅射沉积的AlN薄膜作为减反射层应用到SS-AlN太阳选择性吸收涂层中,使得太阳吸收比高达0.956。(本文来源于《太阳能学报》期刊2013年07期）
薛俊明,侯国付,王雅欣,段苓伟,刘丽杰[3]（2007）在《用脉冲电源溅射ZnO薄膜时脉冲及工艺条件对靶电压的影响》一文中研究指出用磁控溅射法制备ZnO∶Al透明导电膜时,降低靶电压可以减少溅射等离子体中被靶背反射回的中性离子和负氧离子对基片的轰击,提高薄膜的质量,降低薄膜电阻。本文研究了用中频脉冲直流溅射法和Zn∶Al合金靶反应溅射制备ZnO∶Al透明导电膜时,脉冲参数,如脉冲频率、反向脉冲幅度、反向脉冲时间、功率、氧氩比、溅射气压等工艺条件对靶电压的影响。结果表明,延长反向脉冲时间是降低靶电压的最有效方法。当反向时间由2μs增加到10μs时,靶电压降低了60%以上。(本文来源于《真空科学与技术学报》期刊2007年05期）
赵庆春,陈时胜,毕无忌,王笑琴,何兴法[4]（1984）在《激光等离子体中的靶电压测量》一文中研究指出观测并分析了不同功率密度下,由于激光等离子体的空间电荷分离效应而产生的靶电压。100微微秒的1.06微米激光垂直入射到平面铝靶上,功率密度在2×10~(14)～8×10~(14)瓦/厘米~2范围内,测得几千伏的靶电压,持续时间等于或小于毫微秒量级。(本文来源于《中国激光》期刊1984年04期）
靶电压论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
在原磁控溅射叁靶镀膜机上安装了UPS03反应溅射闭环控制单元,替代原有的级差法控制流量计改变反应气体流量的方法,实现反应溅射AlN反馈控制。该控制单元由UPC03型控制器和PCV03型压电陶瓷阀组成。控制器实时采集直流电源的Al靶电压信号,与设定电压进行比较计算处理,输出电压控制信号至压电陶瓷阀,调节输出N2流量,实现Al靶电压稳定控制。在靶表面处于过渡态下,成功制备了吸收几乎为零的AlN薄膜。溅射功率14kW,反应溅射沉积AlN的靶电压波动可长时间稳定控制在±2V范围内,沉积速率高达4.5nm/(min·kW),约为Al靶在无反应气体溅射下沉积Al薄膜速率的80%。溅射沉积的AlN薄膜作为减反射层应用到SS-AlN太阳选择性吸收涂层中,使得太阳吸收比高达0.956。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
靶电压论文参考文献
[1].王庆富,方立平,刘清和,陈林,王勤国.中频反应磁控溅射Al2O3薄膜的靶电压迟滞回线与控制点研究[C].TFC’17全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集.2017
[2].池华敬,郭帅,熊凯,王双,陈革.闭环控制靶电压直流磁控反应溅射沉积AlN薄膜[J].太阳能学报.2013
[3].薛俊明,侯国付,王雅欣,段苓伟,刘丽杰.用脉冲电源溅射ZnO薄膜时脉冲及工艺条件对靶电压的影响[J].真空科学与技术学报.2007
[4].赵庆春,陈时胜,毕无忌,王笑琴,何兴法.激光等离子体中的靶电压测量[J].中国激光.1984