2019:中国气体

2019:中国气体

论文摘要

回顾了2019年中国气体行业的现状,对于我国各类主要电子气体做了详细的介绍,对未来中国气体产业发展进行了简要预测。

论文目录

  • 0引言
  • 1标准气体
  • 2电子气体
  •   2.1高纯氨
  •   2.2高纯硅烷
  •   2.3高纯二氯氢硅(DCS)、高纯三氯氢硅(TCS)
  •   2.4烷类电子气体:砷烷、磷烷、乙硼烷
  •   2.5碳氢化合物气体:丙烯、乙炔
  • 3未来中国气体的市场展望
  • 4结语
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 孙福楠,于大秋

    关键词: 电子气体,标准气体,硅烷,烷类气体,砷烷,磷烷,乙硼烷,高纯氨气

    来源: 低温与特气 2019年06期

    年度: 2019

    分类: 工程科技Ⅰ辑,经济与管理科学

    专业: 无机化工,有机化工,工业经济

    单位: 中昊光明化工研究设计院有限公司

    分类号: F426.7;TQ116

    页码: 1-5

    总页数: 5

    文件大小: 111K

    下载量: 146

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