等离子清洗论文-佟艳群,张昂,符永宏,姚红兵,周建忠

等离子清洗论文-佟艳群,张昂,符永宏,姚红兵,周建忠

导读:本文包含了等离子清洗论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献,主要关键词:等离子体光谱,碳纤维复合材料,在线检测,激光清洗

等离子清洗论文文献综述

佟艳群,张昂,符永宏,姚红兵,周建忠[1](2019)在《碳纤维复合材料的激光清洗等离子体光谱在线检测研究》一文中研究指出近年来碳纤维复合材料(CFRP)由于性能优异,受到工业领域广泛关注。采用激光清洗技术预处理碳纤维复合材料表面的污染物和环氧树脂等杂质,有利于改善碳纤维复合材料表面性能,提高碳纤维复合材料胶接界面的结合强度。在线检测激光清洗过程,实时判断碳纤维复合材料的表面清洗质量,是保证激光清洗效果的关键环节,也是激光清洗装置自动化、集成化的核心技术。激光诱导等离子体光谱技术可以快速分析材料表面元素变化,实现在线检测激光清洗表面状态,在激光清洗领域有很广的应用前景。采用Nd∶YAG高能量脉冲激光器产生的1 064 nm激光在空气环境中诱导产生等离子体,利用改进型光栅光谱仪(ME5000)获取等离子体光谱,在线检测激光清洗碳纤维复合材料。研究外界空气环境对等离子体光谱检测结果的影响,发现350~700 nm波段的元素谱线可用于碳纤维复合材料表面物质成分分析;采用电子扫描显微镜观测的激光清洗表面形貌和X射线电子能谱仪测得的元素变化共同表征等离子体光谱检测的有效性,通过采集不同激光能量以及不同作用次数的等离子体光谱图,获得碳纤维复合材料表层树脂物质通过激光单次清洗干净的阈值,研究激光清洗质量与激光诱导等离子体谱线成分及其强度变化的关系。结果表明:在获取的激光诱导等离子体光谱中,光谱图中谱线波长在393.3 nm的S(Ⅱ)和589.5 nm的S(Ⅱ)谱线可有效在线表征碳纤维复合材料表面清洗质量;激光单次去除干净表面环氧树脂的阈值为10.68 mJ;低激光能量时需要清洗多次可以去除干净表面树脂;高激光能量时清洗单次可使表面树脂去除干净,多次清洗易造成基体损伤。实验结果为激光清洗碳纤维复合材料的智能集成化应用提供工艺依据和技术支持。(本文来源于《光谱学与光谱分析》期刊2019年08期)

李云梅,张宝林,唐林江[2](2019)在《宇航电子产品等离子清洗技术研究》一文中研究指出宇航电子产品、厚膜混合集成电路由于尺寸小、电路密集、焊盘间距小、装配密度高等特点,在装联过程中引入的微小污染物和氧化物,会对键合性能、电性能等造成恶劣影响,从而影响了长期可靠性。等离子清洗有别于传统的超声、机械清洗,具有无损伤、无振动的特点。本文主要针对星载厚膜模块的等离子清洗工艺进行说明,并且对清洗效果进行评价和分析。(本文来源于《真空科学与技术学报》期刊2019年08期)

杨建伟[3](2019)在《不同等离子清洗在半导体封装中的应用研究》一文中研究指出等离子清洗在半导体封装中越来越重要,不同激发机理的等离子存在一定的差异,通过分析直流电流等离子、射频等离子、微波等离子产生机理,研究对比了不同等离子清洗的清洗效果及特点。通过对比等离子清洗对不同封装工艺的影响,得出最合适倒装焊的底部填充、键合焊接、模塑包封工序的等离子清洗类型。研究结果既有助于对等离子清洗工艺理解的深入,也对不同封装工序选择何种类型等离子清洗有参考意义。(本文来源于《电子与封装》期刊2019年05期)

丁度焓[4](2019)在《等离子清洗用谐振电源及控制策略研究》一文中研究指出等离子清洗技术作为制造业中的一种新兴的表面处理技术,因其具有的环保、无害、高效和干燥等优点,将逐渐成为表面清洗领域的主流处理手段。论文以等离子清洗电源作为研究对象,重点研究了系统的硬件电路拓扑,高效的宽范围的调功策略,模糊PFM控制算法及自适应遗传优化算法。(1)论文分析了等离子清洗电源的关键技术及研究进展,包括放电反应器、电路拓扑和控制策略,经对比分析选择“带旋转式喷嘴的同轴圆柱式反应器”作为等离子清洗机的放电枪头,选择“前级整流滤波电路+移相全桥串联谐振电路”作为系统的主电路拓扑。根据枪头及主电路拓扑,分析其等效电路模型、工作时序及模态,提出“PSPWMPFM”混合调制的控制策略,并通过仿真验证了该控制策略在理论上的正确性。(2)根据确定好的系统架构,论文对等离子清洗电源各模块的关键电路进行详细分析和设计。兼顾低纹波系数及低电流峰值的要求,对滤波电容和整流桥进行选型;根据应力要求,对移相全桥电路开关管及隔直电容进行参数设计;基于AP法对高频谐振变压器进行设计;以STM32为主控核心,对全桥驱动电路、参数采样及保护电路进行设计;基于UCC28610电源控制芯片,设计了准谐振反激辅助电源及高精度降压电源。(3)论文对比分析各种调功策略,设计了PSPWM-PFM混合调制的控制策略,针对系统易受干扰偏离谐振频率点的问题,设计基于模糊PFM的最大功率跟踪算法,并搭建模型对混合调制策略及模糊PFM最大功率跟踪算法进行仿真,验证了理论分析的正确性;研究对比了常规及改进型PID算法,设计了自适应遗传优化PID参数调节算法,仿真表明系统的抗干扰性、稳态性能和动态响应速度得到显着改善;为实现上述算法,分任务优先级编写了系统的软件程序,并设计了人机交互界面。(4)论文研制一台等离子清洗样机,并搭建相应的实验平台。对关键电路点的波形,控制模块的采样精度进行测试,实验结果与预期相符;测试对比叁种调制算法,实验结果表明:混合调制算法的综合效果更具优越性,其输出效率83.0%~95.7%,调功范围500W~1000W,输出功率精度90%~94%;对影响等离子清洗效果的因素进行了测试分析,实验结果表明:距离与清洗效果成负相关关系,设定功率和清洗效果成正相关关系,玻璃材料相比铝材料更易被改性。(本文来源于《华南理工大学》期刊2019-04-12)

薛家祥,丁度焓[5](2019)在《等离子清洗用谐振电源混合调制技术研究》一文中研究指出针对现有等离子体放电电源及其控制系统低效率和高成本的缺点,该文以串联谐振型高频高压电源为研究对象,对不同的控制模式进行研究,提出基于PWM-PFM混合调制的功率跟踪控制策略。同时,对感性和容性两种控制模式进行对比,根据IGBT的关断特点和工作频率,提出高功率欠谐振和低功率过谐振的工作模式,解决等离子清洗用电源在高频率下功率因数低、开关损耗大的问题。实验结果表明:混合调制策略能够有效降低IGBT的损耗,使整机效率提高0.65%~5.51%;在相同工况下,将设备的调功范围从600~950 W提升到550~1 000 W,使得等离子清洗机的清洗对象更为丰富,更容易推广。(本文来源于《中国测试》期刊2019年03期)

史海林,薛聪,张军[6](2019)在《等离子清洗技术在DC/DC混合电路中的应用》一文中研究指出等离子清洗是一种干法清洗技术,在电子封装领域应用广泛。总结了射频等离子清洗技术在DC/DC混合电路各组装工艺环节中的应用,射频等离子清洗可有效提高DC/DC混合电路组装质量及可靠性,但不当的清洗工艺或清洗流程会对DC/DC混合电路的组装质量产生不良影响,针对产生的不良影响也提出了改进措施。(本文来源于《电子与封装》期刊2019年02期)

刘新[7](2018)在《腔镜器械清洗不彻底所致过氧化氢低温等离子灭菌系统循环取消的原因及对策分析》一文中研究指出目的分析腔镜器械清洗不彻底所致过氧化氢低温等离子灭菌系统循环取消的原因,并拟定针对性的处理对策。方法选取我中心2017年11月~2018年1月应用过氧化氢低温等离子灭菌器进行灭菌的100锅次为对照组,选取2018年3~4月实施改进对策后应用过氧化氢低温等离子灭菌器进行灭菌的100锅次为观察组,总结分析腔镜器械清洗不彻底所致过氧化氢低温等离子灭菌系统循环取消的原因,并对比分析改进效果。结果观察组灭菌循环取消率8.00%,对照组灭菌循环取消率20.00%,组间比较差异有统计学意义(P<0.05)。而且观察组的每锅灭菌时间短于对照组,差异有统计学意义(P<0.05)。观察组经改进后,发现因真空期4~6min,造成腔镜器械清洗不彻底灭菌循环取消次数明显少于对照组,差异有统计学意义(P<0.05)。结论腔镜器械清洗不彻底是导致过氧化氢低温等离子灭菌系统循环取消的主要原因,拟定有针对性的处理对策能有利减少灭菌系统循环取消次数。(本文来源于《蛇志》期刊2018年04期)

吴安东[8](2018)在《半波长型超导腔的等离子体清洗工艺及机理研究》一文中研究指出经过半个世纪的发展,超导射频(Superconducting radio frequency,SRF)腔体已成为一般现代粒子加速器装置的核心部件。同常温腔体相比,超导腔具有较大束流孔径、更低的功率损耗等特性,使得其在长脉冲(连续)、高流强加速器装置中具有诸多优势。然而,基于目前的技术水平,场致发射效应依然是限制超导腔加速性能的主要因素,并给加速器的实际运行带来诸多不稳定因素。场致发射效应的产生通常与腔体内表面的污染有关。例如,外部金属、灰尘等颗粒物在腔体内表面的附着导致的表面峰值电场的放大,大量的实践表明,此类较大颗粒的污染问题可采用高压水冲洗(High pressure rinsing,HPR)解决。但是,来源于环境周围的化学污染物,诸如碳氢化合物以及各种残余气体在内表面的吸附等问题却难以通过标准的清洗方法得到有效地去除。为了提高超导腔在线运行中的加速性能,SRF科学共同体经过多年的努力和探索,诸多原位在线清洗技术得以发展,主要以射频功率锻炼(连续波以及高功率脉冲锻炼)、低温氦清洗两大技术手段为主。两种在线清洗手段的实现机理均为通过对腔体表面形貌的改善以降低场增强因子,从而达到缓解场致发射效应的目的。然而,这两种技术属于物理手段,对于腔体内表面的碳化物污染以及残余气体的吸附并不能得到完全有效的清除。近年来,基于活性氧等离子体的在线清洗技术得到发展,作用机理为利用具有氧活性的等离子体与腔体表面的碳氢化合物发生氧化反应生成具有挥发性的物质,使碳氢化合物污染较为彻底的从腔体表面清除,以达到缓解或消除场致发射效应的目的,其效果已在多-Cell椭球腔上得到验证。由中国科学院近代物理研究所主导、并同其他合作单位共同研发的我国加速器驱动次临界核嬗变系统(Chinese-Accelerator Driven System,C-ADS)已完成25MeV超导质子直线加速器原型样机的建设和调试,并实现了170μA连续质子束的运行。然而,实验发现加速器的失束和不稳定性主要来源于半波长型(Half wave resonator,HWR)超导腔的场致发射效应而导致的系统故障。因此,为减少场致发射导致的故障问题、提高C-ADS加速器的运行稳定性,基于半波长型超导腔的等离子体在线清洗技术被提出,促使了本论文的形成。首先,为考察在线运行条件下HWR腔体中的等离子体的特性,搭建了基于恒温器工况的放电实验平台。对等离子体的激励过程、实验参数进行了系统的研究,发现了一种基于微波阻抗变化的等离子体控制方法。同时,利用等离子体的特征发射光谱对等离子体的密度、电子的温度、氧分子的解离率进行了诊断,并掌握了适合于HWR腔在线等离子体清洗的最优实验参数。然后,开展了基于小样品的铌腔表面处理工艺研究。利用氩离子溅射实验分析表面成分以及功函数随深度变化,得到了功函数随碳化物减小而增大,随铌的氧化物增加而增大的结论。并且,分析了在以Nb_2O_5为表面的系统上,功函数随碳化物的变化的线性定量关系。另外,在由ICP等离子体源和开尔文探针集成的系统上开展了铌样品的清洗工艺和机理研究。根据功函数随清洗时间演化的指数曲线规律,提出了碳化物的清洗速率模型。利用该模型定量分析了等离子体中的离子通量、氧含量条件对清洗速率参数的贡献,证明了清洗过程中等离子体和表面碳化物之间的相互作用为离子协同的化学溅射机制。对功函数的稳定性以及表面氧化物的生长进行了表征,以此确定了等离子体清洗所需的有效时间和最佳氧含量等工艺参数。此外,直接通过垂测平台研究了碳化物的污染机理以及对腔体性能的影响。根据污染和腔体表面结合能的不同,将其分为低温物理吸附污染以及碳化学沉积两种机制。碳化物的低温物理吸附实验表明,该污染机制可以导致场致发射效应的增强而使腔体性能下降,但是,低温物理吸附可以通过回温解决碳污染导致的性能下降问题。然后,通过Ar/CH_4等离子体增强气相沉积方法在超导腔内表面形成碳沉积污染,测试表明,碳化学沉积导致的腔体性能下降问题不能通过传统的功率锻炼得到解决。最后,利用活性氧等离子体对碳化学沉积所污染的HWR开展了原位清洗实验研究。清洗过程中,对残余气体进行分析证明了超导腔中的碳化物同等离子体发生了化学作用。同时,垂测结果表明场致发射效应被消除,腔体性能不仅得到完全恢复而且同污染前的本底值相比,最大梯度提高约29%。进一步地,为与实际在线污染情况一致,对HWR超导腔进行了直接的暴露空气污染处理,其结果导致了超导腔的性能完全瘫痪,通过功率老练的处理方法亦不能使其性能恢复。因此,再次对HWR开展等离子体清洗,测试发现超导腔性能得以恢复,进一步的分析表明,等离子体清洗的化学作用对HWR超导腔中的碳化物污染具有清除效果。(本文来源于《中国科学院大学(中国科学院近代物理研究所)》期刊2018-12-01)

杨磊,吴安东,卢亮,李永明,徐显波[9](2018)在《1.3 GHz单cell超导射频腔等离子体清洗放电研究(英文)》一文中研究指出场致发射限制超导射频腔加速梯度增长。为了减少超导射频腔场致发射,在室温条件下,设计搭建了1.3GHz单cell超导射频腔等离子体清洗实验装置,开展等离子体清洗放电研究。使用CST软件模拟腔中的电磁场分布并且优化外部品质因数得到合适的放电条件。随着压强、前向功率和含氧量的变化,实验探讨了Ar/Ar-O_2放电的物理特征和电子激发温度的变化趋势。残余气体分析结果表明,Ar/O_2等离子体清洗能够消除腔体内表面的碳化物。(本文来源于《原子核物理评论》期刊2018年03期)

李福明,张太林,黄小品,李江涛[10](2018)在《具有机器视觉系统的等离子清洗设备开发》一文中研究指出机器视觉系统是指通过机器视觉产品(即图像摄取装置,分CMOS和CCD两种)把图像抓取到,然后将该图像传送至处理单元,通过数字化处理,根据像素分布和亮度、颜色等信息,来进行尺寸、形状、颜色等的判别,在现代工业领域具有广泛的应用。在叁轴联动系统等离子设备的基础上,通过揉和新的视觉系统,形成新的具有视觉系统的等离子清洗设备,既是原设备的延伸也是一种创新的应用。(本文来源于《玻璃》期刊2018年05期)

等离子清洗论文开题报告

(1)论文研究背景及目的

此处内容要求:

首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景,再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题,并提出你的论文准备的观点或解决方法。

写法范例:

宇航电子产品、厚膜混合集成电路由于尺寸小、电路密集、焊盘间距小、装配密度高等特点,在装联过程中引入的微小污染物和氧化物,会对键合性能、电性能等造成恶劣影响,从而影响了长期可靠性。等离子清洗有别于传统的超声、机械清洗,具有无损伤、无振动的特点。本文主要针对星载厚膜模块的等离子清洗工艺进行说明,并且对清洗效果进行评价和分析。

(2)本文研究方法

调查法:该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。

观察法:用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。

实验法:通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。

文献研究法:通过调查文献来获得资料,从而全面的、正确的了解掌握研究方法。

实证研究法:依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。

定性分析法:对研究对象进行“质”的方面的研究,这个方法需要计算的数据较少。

定量分析法:通过具体的数字,使人们对研究对象的认识进一步精确化。

跨学科研究法:运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。

功能分析法:这是社会科学用来分析社会现象的一种方法,从某一功能出发研究多个方面的影响。

模拟法:通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。

等离子清洗论文参考文献

[1].佟艳群,张昂,符永宏,姚红兵,周建忠.碳纤维复合材料的激光清洗等离子体光谱在线检测研究[J].光谱学与光谱分析.2019

[2].李云梅,张宝林,唐林江.宇航电子产品等离子清洗技术研究[J].真空科学与技术学报.2019

[3].杨建伟.不同等离子清洗在半导体封装中的应用研究[J].电子与封装.2019

[4].丁度焓.等离子清洗用谐振电源及控制策略研究[D].华南理工大学.2019

[5].薛家祥,丁度焓.等离子清洗用谐振电源混合调制技术研究[J].中国测试.2019

[6].史海林,薛聪,张军.等离子清洗技术在DC/DC混合电路中的应用[J].电子与封装.2019

[7].刘新.腔镜器械清洗不彻底所致过氧化氢低温等离子灭菌系统循环取消的原因及对策分析[J].蛇志.2018

[8].吴安东.半波长型超导腔的等离子体清洗工艺及机理研究[D].中国科学院大学(中国科学院近代物理研究所).2018

[9].杨磊,吴安东,卢亮,李永明,徐显波.1.3GHz单cell超导射频腔等离子体清洗放电研究(英文)[J].原子核物理评论.2018

[10].李福明,张太林,黄小品,李江涛.具有机器视觉系统的等离子清洗设备开发[J].玻璃.2018

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