论文摘要
针对基于微机电系统（MEMS）技术的I2形原子力显微镜（AFM）探针与传统悬臂式探针相比,虽然有很多优点,但由于I2形探针的压阻检测设计未考虑结构应变分布,导致检测灵敏度较悬臂式探针相比尚有一定差距的问题,通过对I2形探针应变分布的考察,实现了探针结构优化设计。实验结果表明:在相同结构,相同输入前提下,改进后探针的力灵敏度达到28. 9p N/Hz1/2,较原有基础上提高10倍。通过进一步对检测电路的优化,力灵敏度有望满足商用需求(小于10p N/Hz1/2)。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 熊壮,屈明山,张照云,杨荷
关键词: 原子力显微镜,微机电系统谐振器,热执行,压阻检测,微纳加工
来源: 传感器与微系统 2019年03期
年度: 2019
分类: 信息科技,工程科技Ⅱ辑
专业: 仪器仪表工业
单位: 中国工程物理研究院电子工程研究所
基金: 国家自然科学基金资助项目(61404121)
分类号: TH742
DOI: 10.13873/J.1000-9787(2019)03-0096-03
页码: 96-98+101
总页数: 4
文件大小: 870K
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标签：原子力显微镜论文; 微机电系统谐振器论文; 热执行论文; 压阻检测论文; 微纳加工论文;