液浮法抛光优化技术

论文摘要

一种新的光学元件表面抛光工艺—液浮抛光技术,采用具有剪切增稠效应的非牛顿流体作为抛光液,流体在抛光区域形成液膜,实现对工件表面高效、低损伤的加工。以材料去除量以及工件表面粗糙度作为评价指标,利用正交实验法对K9玻璃抛光过程中的四个关键影响因素:磨粒质量分数、磨头入口压强、磨头重力、剪切增稠相中分散相的质量分数进行实验分析,得到一组最优参数组合以及各主要影响因素对抛光效果的影响程度。对于工件表面粗糙度,采用极差法得出各因素对整个工件的影响程度的主次顺序为(主→次):二氧化硅质量分数、磨头重力、入口压强、磨粒质量分数,最佳参数组合为:磨粒氧化铈质量分数为14%,入口压强为0.3MPa,剪切增稠相中分散相二氧化硅质量分数为9%,磨头重力为34.3kg;对于材料去除量分布,经过90min的抛光,其平均去除量为0.2μm。

论文目录

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 弥谦,秦琳,李宏,郭忠达

关键词: 光学元件加工,液浮抛光法,剪切增稠液体,正交实验,极值法

来源: 光学技术 2019年02期

年度: 2019

分类: 基础科学,工程科技Ⅰ辑

专业: 无机化工

单位: 西安工业大学陕西省光学先进制造工程技术研究中心

基金: 装备发展部共用技术项目(41423020111),陕西省自然科学基础研究计划项目(2018JM6031),陕西省教育厅重点实验室科研计划项目(18JS052),陕西省科技厅重点研发计划项目(2017ZDXM-GY-122)

分类号: TQ171.684

DOI: 10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2019.02.023

页码: 251-256

总页数: 6

文件大小: 795K

下载量: 101

相关论文文献

• [1].工艺参数对光学元件加工精度影响的数学模型研究[J]. 激光杂志 2020(08)
• [2].非球面光学元件加工检测方法的研究[J]. 精密制造与自动化 2012(02)
• [3].超高精度光学元件加工技术[J]. 红外与激光工程 2013(06)
• [4].基于激光跟踪仪标定五轴数控加工中心主轴[J]. 光学精密工程 2012(03)
• [5].影响方形非球面光学元件加工精度的工艺研究[J]. 中国激光 2012(03)
• [6].数控非接触式超光滑光学元件加工机床的设计[J]. 光学精密工程 2012(04)
• [7].高精度角度加工技术研究[J]. 应用光学 2008(06)
• [8].光学表面微缺陷的高对比度暗场成像检测方法[J]. 机电技术 2019(01)
• [9].非球面光学元件加工及检测技术综述[J]. 兵器材料科学与工程 2014(02)
• [10].基于法线追迹原理的新型高精度面形检测系统[J]. 核技术 2017(09)
• [11].高精度楔形棱镜加工中的检测技术[J]. 光学技术 2020(05)
• [12].平面光学元件加工过程中两种数据转换方法的比较[J]. 吉林工程技术师范学院学报 2010(01)
• [13].用于在线检测的紧凑型多测量模式干涉仪[J]. 红外与激光工程 2020(06)
• [14].基于磁流变斑点法的热压多晶氟化镁加工亚表面损伤实验研究[J]. 航空精密制造技术 2009(05)

标签：光学元件加工论文;  液浮抛光法论文;  剪切增稠液体论文;  正交实验论文;  极值法论文;